中國自解放后不就一直是這個“國家實驗室/研究所”主導幾乎所有科研項目嗎？所以，你問的這件事，真不是個問題。實際上在中華人民共和國成立的那一天開始，我們就是用你問的這種模式在做科研工作！這是計劃經濟的特點，科研工作也要由國家計劃分配來做！

至此，就剩下第二個問題了，那就是“卡在哪里”是問題了！前面那半截的提問根本不是問題，我國一直是這種“國家試驗室/研究所”模式地在進行著研究，從來就沒有走歪過一步。

至于現在國產光刻機的研究“卡在哪里”這個問題，總體上來說就是卡在了“實用化”階段。

首先，到目前為止，中國對DUV和EUV光刻機的原理是完全掌握了，而且這個掌握絕對是全世界第一流的，與美國并駕齊驅的水平，甚至更精深一層也有可能。在任何光刻機的理論研究大會上，來自中國的科學家，絕對能夠拿出最漂亮的PPT，把最前沿的光刻機原理講得頭頭是道！

其次，到目前為止，中國對理論的驗證工作也基本上完全完成了，比如什么“雙工作臺”、“光源”等等，各個環節的“道路驗證”類的工作也全都圓滿完成，也就是說從“理論”到“實用”之間已經沒有障礙物，所有的“道路”都已經親身趟過一遍了，其中的地雷都已經排除！這個到任何光刻機的研發大會上，來自中國的科學家，也是能夠拿出絕對漂亮的PPT，講出最精彩的報告！

至此，就是“實用化”階段的工作了。這就好比火箭上天的原理和“竄天猴”上天的原理一樣，但火箭是由國家航天某廠制造，“竄天猴”是由瀏陽某鞭炮廠制造，但肯定都不是國家的試驗室制造。在光刻機上也是如此，“國家的試驗室/研究所”已經把理論方面的工作做完了，接下來“實用化”的工作該誰來做？

但最大的問題是，按照最樸素的“誰投錢誰掙錢”的說法，“試驗室/研究所”是用公共資源來進行研發，也就是說，它們的研究資金來源是國家無償提供，那么產出的成果原則上也是無償歸國家所有！但所有人都知道，科研研究與產品研究最大的區別就是，科研研究是不考慮“性價比”的，哪怕是最后研究失敗，那么這個失敗的經驗也能算是成果的一種，算是驗證了錯誤的道路。但在產品的研發階段，就要必須考慮“性價比”了，如果投資巨大，但研究不出來怎么辦？

所以，現在就是卡殼在了產品級的“實用化”研究階段了！更深一步，實際上就是卡殼在了如何處理實用化階段的“性價比”問題上。這個問題如果沒有辦法拿出好的解決方案，大概沒有幾個“試驗室/研究所”敢向前邁進了。畢竟花錢沒出成果怎么個說法沒有，誰敢“豁出去”？

你的想法太簡單，不適合出謀劃策，所以不要亂來。

第一、國家的錢是有限的，科技發展不全部壓在國家身上。

國家的錢是有限的，不能什么項目都搞，而且政府的資金全部來源于稅收，而搞項目是需要錢的，搞的項目越多需要的錢就越多，而需要的錢越多那么需要增加的稅收就越多。

因此，政府的搞得項目越多，意味著社會稅收越重，而社會稅收過重人民就會貧窮。

為了避免這種情況發生，我們應該要善于利用社會富人的錢來推動社會科技，讓有錢人去搞科技。

讓有錢人去搞科技有非常多好處。

第一：有錢人拿錢出來搞科技，不但可以促進社會財富再流通，還可以為國家增加稅收。

第二：讓有錢人去搞科技，使用的是他們自己的，而不是用全國人民的錢，所以無論他們怎么搞都不會導致國家人民貧窮。

第三：讓有錢人搞科技，就算他們失敗，最多也就是他們自己變窮了而已，就當他們把財富還給社會好了，如果一來為縮小社會貧富差距做貢獻。

因此，大家不要老是把眼睛盯在國家身上，如果什么科技項目都依賴國家去搞，那么國家就得從所有人身上去收稅，國家搞的項目越多人民就越窮。所以這樣的搞法不但無法讓國家富強，反正增加民眾與政府的矛盾。項目搞成功了還好好，政府可以通過項目盈利后再饋還人民緩解矛盾，可是一旦項目失敗，后果就會變的非常嚴重。

一個國家科技發展的主力，絕對不能是政府，而應該是社會資本，尤其是社會上的富人。他們去搞科技發展在經濟社會下是的最優選擇，他們搞成功了對大家都有好處，就算他們搞失敗了同樣是有好處。

所以我們要鼓勵有錢人去搞科技研發，而不是鼓勵國家去搞科技研發。

第二、政府不適合搞商業性太強的科研項目。

商業性太強的科技項目就是以盈利為目的的科研項目。

盈利越大的項目，風險往往越大，失敗概率非常高，這種項目不管誰去搞風險都是一樣的，成功了就賺的要死，失敗了就虧的要死。

如果政府去搞這種項目失敗了會被罵死，成功了也會被罵死，你們知道為什么嗎？

因為政府搞這種項目一旦失敗，就相當于讓全國人民的錢打水漂，如此一來不被全國人民罵死才怪。

失敗被罵，那么成功了為什么還會被罵？

因為賺錢太多被罵，畢竟你是用人民的錢搞成功的項目，項目成功后還高價賣給人民，人民不罵才怪。

也許有人會說，那賣低一點價格不就得了，在這里我只能告訴大家，這個價格就算政府想低也低不了。如果政府的價格低過行業價格，會破壞整個行業的生態系統，牽一發而動全身，會導致全國乃至全球在這個行業中很多公司乃至個人破產，當很多人出現破產時，會引發各種債務危機，最后有可能會演變成金融危機、乃至經濟危機。

由此政府搞的盈利項目他也遵循市場規律的，而高科技盈利項目的利潤是很大的，到時候政府賺太多錢了，還不知道你們會怎么罵呢。

第三、消費型盈利高科技項目，只能由社會來做。

政府是一個管理組織，而不是一個盈利組織，所以政府不能與民爭利，因為政府如果與民爭利的話，沒人能夠爭的過政府。

如此一來就會導致全社會都不敢爭，結果就是全社會的資本什么都不敢做，什么都不敢投資，如此一來社會經濟的活力就會壓制，一旦經濟活力被壓制那么各方面的發展都會停滯。

所以，非民生必要性經濟項目，政府最好不要參與，一旦參與對社會影響是非常不好的。

高端光刻機的研發目的是為了制造高端芯片，并且生產高端手機，它的消費對象往往是高消費人群，這種產品并非大眾型消費產品，而且具有較高的利潤，國家不適合直接參與。

第四、政府對由社會資本主導的產業，只能在必要時扶一把。

高端光刻機對一個國家手機產業的發展，的確具有很高的戰略意義，但是手機產業的發展是由社會資本主導的，社會資本想要在這個行業中上升到什么程度，那時候他們已經決定的。

介于手機產業由社會資本主導，所以就算國家投巨資研發出光刻機，但是只要主導該產業的社會資本沒有上進心，那么給他再好的芯片，他們也同樣做不出世界最好的手機。

畢竟并不是安裝了一流芯片的手機就會成為世界一流的手機，整個手機里面除了芯片之外還有其他很多東西，單單芯片好代表不了什么的，但他們總不能什么都依賴國家給他們研發吧？

假如他們上進，那么他們自然會在方方面面努力，不需要國家操心。

假如他們不上進，國家再為他們操心，他們也是扶不起的爛泥巴。

所以國家在面對這種由社會資本主導產業，就算再有戰略意義，也只能在他們努力的過程中出現余力不足的情況下扶他們一把，而不是既做他爹又做他媽，什么都要幫他們準備好。

額。。。。。。現在不就是這樣的模式嗎？不然你以為什么研究院、第XXX所是干什么的？國企央企啥的是干什么的？至于中國現在沒有光刻機？第一中國有光刻機，只是比較低端，沒有的是高端光刻機。為什么沒有高端光刻機，我覺得得分兩方面，第一是我們的基礎工業確實比別人落后，就是那些關鍵器件，比如光源啥的，需要很強的基礎工業支持，這方面中國還是落后一些。第二是以前有個概念，就是造不如買，買不如租的思想，加上以前中國百廢俱興，有限的錢要花在更多的地方，所以就有所取舍了。

這個問題我前幾天剛在別的地方回答過，再說一遍吧

光刻機這玩意真不是花錢就能搞出來的。

有人說，不缺錢的話，直接去挖別人的高級人才不就行了？把他挖過來，技術就過來了。這就很天真了，國外的大企業每年上百萬的法律顧問費用花來是干嘛的？且不說你挖過來的人要面臨大量的阻礙，比如競業協議，巨額賠償等等，就算你挖過來了，大量的技術專利都在被人廠家手上，挖過來的技術人才也是沒有辦法使用的。

有人說，那我就自主研發，開高工資，廣招人才，華為不就砸出來全球領先的麒麟處理器嗎？

嗯，科普一下，華為 設計 的麒麟處理器確實是全球最領先的手機處理器，但是落實到制造，華為還是無能為力，還是得靠光刻機。那么，自主研發的難度在哪里呢？

除了前面說的專利壁壘問題，還有一個就是技術迭代的問題。目前我國最強的芯片制造企業中芯國際的穩定技術在14nm和12nm，離目前一流的5nm技術中間還差了2代技術。中芯國際目前可以通過N+1技術，直接將12nm提升到7nm，但是離5nm還有至少1年半的空檔期。

難就難在這個一年半，即使一年半之后我們攻克了5nm技術，這1年半里面，別人也不會停下來等我們，到時候也許會有更先進更穩定的技術產生。

不過好消息是，芯片制造技術目前是有天花板的，越接近天花板，推進速度就會越慢。只要我們持續加速，總有一天會追上國外技術，甚至超越。

“卡在哪里”、“為什么沒有人提出”？這 2 個問應該是一個意思。

是啊，荷蘭ASML公司拿到的EUV技術，當時就是在美國能源部牽頭下由EUV LLC組織研發出來的。該組織的成員單位除了英特爾、摩托羅拉和AMD，就是享有盛譽的美國三大國家實驗室——勞倫斯利佛莫爾、勞倫斯伯克利、桑迪亞了，幾百位頂級科學家從理論上驗證了EUV量產的可能性，ASML則成為了EUV方案的實踐者。

其實我們國家也采用了這樣的模式。過去是，現在還是。據報道，中科院組織研發光刻機技術的歷史已近30年，這就是由“國家出錢”，顯然是國家的布局，就是要“交給企業制造并改進”。事實上，中科院長春光機所早在20年前就開始了對EUV技術的探索，重點是光源、多層膜、相關的成像技術，形成了極紫外光學的應用技術基礎，與國際上處在相同的水平；2002年，研制出國內第一套EUV光刻原理裝置；2017年，所承擔“極紫外光刻關鍵技術研究”項目順利通過驗收，歷經了8年，參加單位包括中科院光電技術研究所、中科院上海光學精密機械研究所、中科院微電子研究所和北京理工大學、哈爾濱工業大學、華中科技大學。上海微電子已在2017年推出的90納米光刻機整機、將在今明兩年推出的28納米光刻機整機，所依托的技術主要是這么來的，已經、正在大大降低制造風險、加快制造速度、提升制造水平，無不彰顯了“調動國家資源突破瓶頸的優勢”。如今，28納米光刻機，即28納米工藝節點的193納米波長光刻機，屬DUV系列，應該是在進行“最后”的攻關。

中科院在2020年9月6日正式宣布已成立光刻機科研小組。同時表示“被封鎖的清單就是研制任務的清單”，今年1月又表示已部署新技術路線光刻機的研制。緊接著“正式宣布”，中科院長春光機所就宣布獲批“中國科學院精密光電制造技術工程實驗室”。到此可知，根本就不存在“為什么沒有人提出”采用這樣模式的問題，即根本就不存在“不能建立國家實驗室、由國家出錢研發光刻機”這個事及其“卡在哪里”的問題！那么，“被封鎖的清單”上有光刻機嗎？有！什么光刻機被封鎖了？當然是EUV光刻機，ASML不是賣給了我們國內DUV光刻機了嘛，中端的；中芯國際在2018年下了訂單的那臺EUV光刻機不是至今也沒到貨嗎，高端的，這是因為美國和荷蘭明明知道上海微電子已有低端的、將有中端的，而且還知道是國產化的，國產化的哪里會卡得??；又知道，上海微電子制造出EUV國產光刻機還早著呢，還沒有，當然就能卡住。

該問題目中的“卡在哪里”是問我們國家的光刻機嗎？如果是，回答就應該是：近，卡在中端光刻機上；遠，卡在高端光刻機上。而由于推出制造成功的DUV國產光刻機整機在即，馬上就有了，近得很，簡直只可以說是僅僅卡在EUV光刻機上，雖然一定能造出來、造成功，因為僅就中科院系統來說就已經有了20多年的技術積累，然而，卻一時半會還造不出來，將來造成功的第一臺高端國產化光刻機在技術上還是跟世界頂級的光刻機有很大的差距，但是，從造成功7納米的國產化光刻機那時開始，就再也不會有誰能卡住我們國家了，而且，盡管我們國內在那個時候只是僅僅有了7納米的光刻機，也可以肯定：美國政府以及荷蘭政府將無需ASML和臺積電的申請，就會馬上以至提前地一前一后下達關于向我們國內提供其5納米以至3納米的光刻機和代工的指令，而ASML和臺積電將緊接著，急三火四地分別上門向我們國內的高端自主芯片制造企業和高端自主芯片設計企業推銷。

在前些日子中科院院長白春禮宣稱接下來要集中攻關美國“卡脖子”的一些技術，第二天任老就帶著華為的相關人員拜訪了中科院，并且進行了一系列的商討會議。很多人覺得這是華為要和中科院聯手成立國家實驗室來突破EUV光刻機技術，不過在我看來這種可能性并不算大。畢竟想要制造出一臺完整的EUV光刻機，中國現在缺少的條件實在是太多了。

EUV光刻機是全球產業鏈的產物

估計大家對ASML這個公司都有所耳聞，這個荷蘭的公司霸占了全球高端光刻機的市場，沒有任何一個企業可以與之抗衡。ASML之所以能有壟斷底氣，靠的就是和全球頂尖企業的密切合作。

比如EUV光刻機上的光學鏡頭，目前只有德國的卡爾蔡司一個企業能夠提供；光刻機使用的光刻膠，目前市場也被日本牢牢的把持著；EUV光刻機上有八萬多個部件，其中很多都涉及到行業壟斷問題；這些稀有的零件讓EUV光刻機無法被其他企業復制，只能看著ASML賺的盆滿缽滿。

如果中國真的想要造出來EUV光刻機，那就意味著中國企業要在所有環節和全球的企業進行對抗。國外的企業已經在自己的行業深耕多年才積累了足夠的技術，中國的企業想要短時間突破所有環節的可能性基本上為0。

即使能造出EUV光刻機也是得不償失

當然如果我們舉全國之力是否能夠造出來EUV光刻機呢？這點我相信國家的力量，但是這明顯是虧本買賣。

首先這就需要國家幾十年如一日的持續投入，并且在政策和資金上給予相關企業扶持，保證研發不會因為企業自身的生產經營而被迫中斷。如果國家舍得大力氣投入，我相信是能節省一定的時間的。

其次需要國外的技術對我們國家開放，這樣我們就能更快的推進項目進度；只要能給我們技術，多掏點專利費完全可以接受。不過美國一向在這件事上相當的小氣，所以就算開放了專利，我們能獲得的幫助估計也非常有限。

最后我們辛辛苦苦投入巨額的人力物力造出來后，可能在性能上已經遠遠落后ASML最新的光刻機，那我們辛苦這幾十年將變得毫無意義。

最好的選擇是合作，想要未來超車只能繞過光刻機

我相信國家的相關人員肯定也能看出來自研EUV光刻機確實不太現實，那么選擇合作就是最優的選擇。雖然這看起來有點低聲下氣，但是承認自己確實做不好又不算丟臉，總比一直盲目自信要強的太多。

現在我們已經很難繞過國外已經形成的光刻機技術壁壘，想要在未來實現超車只能選擇開發出一種不需要光刻機的芯片制造技術。這樣道路前面全是未知，我們也有領先全球的可能性。

目前來看最可能技術還是碳基芯片，不過這項技術還停留在實驗室的階段，目前并沒有實現商用。如果國家覺得這個方向可行并且加大投入的話，未來很可能讓我們走出來一條可以和硅基芯片媲美的道路，國外的壟斷封鎖也就自然不攻自破了。

簡單點來說現在自研光刻機時間長、難題多、效益低、回本難，絕對算是一個虧本買賣。況且光刻機目前使用的場景并不打算多，遠達不到非解決不可的程度。國家的資源畢竟有限，如何用最小的投入產出足夠的成果，有所取舍國家才能收獲的更多。

不是沒人提出，而是國家早就在做了，只不過普通老百姓沒有感覺而已，如果不是華為被美國實施“芯片禁令”，估計大家連光刻機這三個字都沒聽過

鮮為人知的中國“02專項”

事實上，對于半導體產業未來的發展，我國一直有著比較先知先覺的認知，總結我國半導體設備的發展可以用“起了個大早，趕了個晚集”來形容

早在1966年，109廠與上海光學儀器廠協作，研制成功我國第一臺65型接觸式光刻機，由上海無線電專用設備廠進行生產并向全國推廣，此時荷蘭的ASML還未誕生，美國和日本的光刻技術也并不比我們先進

隨后到了80年代，為了快速發展經濟，“造不如買”的思想盛行，國產光刻機的研發進入慢車道，這一落后就是20年

直到2002年左右，國家認識到光刻機自主化技術的重要性和緊迫性，因此下決心在“十二五”期間將光刻機作為微電子裝備首要攻關項目，提出了《極大規模集成電路制造技術及成套工藝》項目，因次序排在國家重大專項所列16個重大專項第二位，在行業內被稱為“02專項”。

國產光刻機龍頭--上海微電子

2002年3月，為了盡快推動國產光刻機的研發進程，在國家科技部和上海市政府共同推動下，由多家企業集團共同出資，以“用中國人的光刻機造中國芯”為目標，國產光刻機企業--上海微電子裝備有限公司（SMEE）誕生！

上海微電子是一家具有國資背景且商業化運營的企業，主要任務就是為我國芯片制造企業提供高端光刻機，它自身也承擔了“02專項”的多個科技預研項目，比如“浸沒光刻機關鍵技術預研項目”、90nm/65nm/28光刻機研制等

除此之外，中科院、清華大學、長春光機所、國防科技大等十數家科研院所和高校也參與到了“02專項”里面來，由國家提供撥款，分別攻克光刻機的關鍵技術

2007年，上海微電子成功研制出中國首臺90nm高端投影光刻機，成為世界上繼荷蘭ASML、日本尼康和佳能之后，第四個掌握高端光刻機系統設計與集成技術的企業，不過其中大量的器件依賴歐美，很快，歐美國家開始對相關器件進行封鎖

隨后的數年時間里，中科院、清華大學、長春光機所等分別突破了90nm光刻機最核心的幾項技術：光學系統、激光光源、光刻機浸液系統、光刻機工作臺，這才算徹底實現了90nm光刻機的國產化

沒辦法，高端光刻機實在太復雜，一臺機器包含數萬個零件，ASML的光刻機之所以研發速度快，那是因為90%的零件不需要自己研發，比如光刻軟件和光源由美國提供、鏡頭由德國卡爾蔡司提供、軸承由瑞典提供等，而我們都得靠自己

寫在最后

歷經十幾年發展后，目前上海微電子已經申請了各類專利超過3200多項，涉及光刻機、激光與檢測等多個領域，中科院、清華大學等科研院所也積累的大量的光刻機核心技術，實現了0到1的突破，未來將集中科研力量，進一步實現突破！

今年6月份，中國首臺28nm工藝的浸沒式光刻機宣布研發成功，其性能直接追上ASML最先進的DUV光刻機，這樣7納米及以上的芯片，就都能生產了！

根據“02專項”計劃和上海微電子的研發進展，預計國產28納米DUV光刻機將于明年正式量產交付，后續產能提升上來之后，至少保證我國90%的芯片需求，都能實現自研、自產、自銷！

值得一提的是，最近三個月內，ASML的CEO、中國區總裁沈波等人接連表態，ASML的DUV光刻機可以不受限制的供應給中國，可見，歐美企業總是喜歡玩“錦上添花”那一套，從來不會有雪中送炭的時候，這也從另一方面激勵我們，核心技術必須拿下，再難也要啃下去，EUV光刻機的突破，也只是時間問題而已

首先，國家有自己的實驗室，也有國產的光刻機，相對比較低端而已，并且國家在技術和研發上從未停止過，光刻機不是一個普通的硬件，有錢有人就能解決的，他需要完善的尖端工業和技術配套，外國人在這塊已經耕耘了好多年，從材料配件生產和人員技術都已形成體系，再加上長期以來的圍堵和技術封鎖，和發動機一樣，都對我們在尖端科技領域的突破造成了影響，以我們國家現有的投入和機制，光刻機，發動機以及芯片技術的突破只是時間問題!

由國家出錢研發光刻機 作用不大 市場化研發可能要好 國家出錢研發就好比現在的航空發動機 激勵效果不好 所在的單位就是這樣 拿著這個項目每年可以向國家拿錢 等真正有眉目的時候又已落后發達國家十幾年了 以前我們單位那個40號機就這樣 拖著好多年 領導和底下也知道如果早一通過 就不會再有經費 如列入實際生產 利潤會很少。還有電腦操作系統 以前中科院自己都說 組織了大量人力物力幾十年 硬是沒有搞出像微軟的系統 直到現在才有華為的鴻蒙系統。所以市場化是根本 可以許諾 國家對搞出先進光刻機的單位和個人予以重獎 把準備研發的上千億資金獎給研發單位 以國家功臣的榮譽給研發者。可能效果不一樣。大鍋飯的格式研發 誰也不要擔責 就是更多資金也是水漂 就像航空發動機 這幾年兩機專項資金不少吧 效果不大

首先一個光刻機的任務不足以建設一個國家實驗室。其次，現在中國的科研創新體系分散在中國科學院，大學，國防工業和軍隊，國營企業，大型民營企業等很多系統，國家的策劃管理工作的任務是將研究任務有效的分散到各個創新系統去，并進行集成組織成最終的光刻機產品。這個任務需要國家投資，企業投資，個人投資等等，舉全國之力進行研發。企業投資研發的目的獲得銷售回報，國家投資研發的目的是國家可以實現對技術和產品的自主可控，個人投資的目的少數是家國情懷，大多數是搭車獲得高回報