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2026-06-25 18:45:03

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精選回答(10)

這個(gè)問(wèn)題老梁來(lái)回答。

毫無(wú)疑問(wèn)是原子彈。

估計(jì)這個(gè)答案一出來(lái),有些小伙伴就要問(wèn)了:“咱家原子彈都能整出來(lái),氫彈那也是分分鐘鐘的事,那為嘛一臺(tái)光刻機(jī)就整不出來(lái)呢?”

瞧您說(shuō)的,這倆物件壓根就沒(méi)法比,原子彈那屬于創(chuàng)新,以前沒(méi)有,噗的一下,現(xiàn)在有了,是一個(gè)從無(wú)到有的過(guò)程。

您說(shuō)難不難,這個(gè)世界上敲門磚是最難的。這也是為嘛全世界能整原子彈的國(guó)家也就那幾個(gè)。

那么光刻機(jī)這玩意,他是個(gè)老物件,是在原有的基礎(chǔ)上一步步的積累得到的,也就是說(shuō)只要你有這東西,加上足夠的時(shí)間,耗也能耗出來(lái)他。

咱家就有光刻機(jī),只不過(guò)咱的技術(shù)只能攻克到28nm,供應(yīng)個(gè)軍隊(duì)啦,基礎(chǔ)建設(shè)啦,這一點(diǎn)問(wèn)題都沒(méi)有。但咱想整個(gè)7nm的,這就有點(diǎn)難度了,技術(shù)積累壓根就沒(méi)有到哪一步。

給咱點(diǎn)時(shí)間,咋也能耗出來(lái),只不過(guò)現(xiàn)在要用這玩意,顯的這東西就金貴了。

按照荷蘭人的說(shuō)法,他給咱圖紙?jiān)垡才怀鰜?lái),這顯然是一種不要臉的夸大行為,他但凡敢拿出來(lái),咱還就不信了,提前整出來(lái)那也是很有可能的。

但也從他這句話當(dāng)中,咱也能明白,這7nm的光刻機(jī),技術(shù)肯定會(huì)占一塊原因,但更大的原因不在技術(shù)上。

這就和當(dāng)年蘇聯(lián)想要整出一臺(tái)航空發(fā)動(dòng)機(jī),但卡在材料上一樣,沒(méi)法子啦?

那會(huì)西方和蘇聯(lián)的關(guān)系還沒(méi)那么僵硬,還能夠交流,于是蘇聯(lián)人就跑道英國(guó)的地盤購(gòu)買人家的發(fā)動(dòng)機(jī),當(dāng)然購(gòu)買可不是關(guān)鍵。

關(guān)鍵是,還去人家的廠子里頭參觀,參觀就算了,還專門穿一雙軟底鞋,目的就是踩點(diǎn)碎屑啥的整回去瞅瞅,那參觀的隊(duì)伍里頭還有更加過(guò)分的,悄么兮的揣了人家一片零件給裝口袋了。

回去沒(méi)多久,材料這關(guān)蘇聯(lián)人就跨過(guò)去了。

這道理其實(shí)是一樣的。

當(dāng)然咱也不能想的那么簡(jiǎn)單,畢竟要是簡(jiǎn)單的話,咱早就整出來(lái)了,俺只是把這中間的道理給大家伙整明白了。

咱缺少的是時(shí)間,一層一層的積累這東西,不論是技術(shù),還是材料,咱底蘊(yùn)還不夠,誰(shuí)讓咱下手晚了呢?

就拿咱遼寧艦來(lái)說(shuō),航母這東西,咱家以前就沒(méi)有,但為嘛咱把遼寧艦拉回來(lái),順順利利的把東西塞進(jìn)去就能開(kāi)到大海上遛彎了?

那是因?yàn)椋圩铋_(kāi)始的時(shí)候,目標(biāo)就是讓海軍擁有航母,雖然沒(méi)有航母,可咱一直在進(jìn)行技術(shù)積累,這底蘊(yùn)就夠了,足夠咱把遼寧艦給撐起來(lái)。

遼寧艦一出來(lái),跟著有咱自己想法的002航母就出來(lái),但002還是有遼寧艦的影子,可003這完全脫離了遼寧艦的影子,咱想咋弄就咋弄。

這就是技術(shù)積累的好處。

您就說(shuō)吧,前前后后三艘航母,建造的快不快?

咋說(shuō)呢?荷蘭人是挺高興,一臺(tái)光刻機(jī)能賣一個(gè)億還多的美元,但您要記住了,再好的東西,他生產(chǎn)出來(lái)的東西,還得有人用才成。

7nm光刻機(jī)整出來(lái)的東西是好,但咱被卡了脖子,造出來(lái)的東西有足夠的人來(lái)支撐市場(chǎng)嗎?答案是沒(méi)有!你光靠一個(gè)蘋果能整出去多少東西?

那么結(jié)果呢?市場(chǎng)會(huì)決定7nm是否會(huì)生存下去的關(guān)鍵,當(dāng)然這將是一場(chǎng)延時(shí)賽,看誰(shuí)先喊疼了。

他們最好期望,他們喊疼的時(shí)候,咱的7nm光刻機(jī)還沒(méi)出來(lái),或者替代東西沒(méi)有出來(lái)。

說(shuō)道這里估計(jì)有人要說(shuō)了:“你快拉倒吧!人家造光刻機(jī)的阿斯麥,壓根就是一個(gè)組裝廠,他是把全世界最最最頂尖的技術(shù)整合到一塊,裝出來(lái)的東西,你要整個(gè)光刻機(jī)出來(lái),你就的拿出最最最最好的技術(shù)和人家比,把他們比下去了,你就有可能造出來(lái)。人家那是幾百年的經(jīng)驗(yàn)積累!嚇到了吧?”

哎!這聽(tīng)的好像很有道理似的。

要俺說(shuō),你也別和俺提啥,誤差不大于2nm,要在5nm的片子上移動(dòng)啥的,還有啥軟件系統(tǒng)也要納米級(jí)別的。

你要知道,當(dāng)年咱造原子彈的時(shí)候,除了一堆人,和人手一把鐵鍬,就剩下一片荒蕪的戈壁灘,啥都沒(méi)有。

結(jié)果呢?原子彈出來(lái),氫彈出來(lái),而且氫彈這哥們?cè)凼侨澜缥ㄒ灰患铱梢源鎯?chǔ)的,其他國(guó)家包括美國(guó)壓根就不會(huì)。

從無(wú)到有咱都不怕,還怕這個(gè)?咱以前拿出一百項(xiàng)東西,全是墊底的存在,現(xiàn)在呢?咱拿出一百項(xiàng),至少有一半是領(lǐng)先的,再壓縮一點(diǎn)四層是領(lǐng)先的,你不否認(rèn)吧?

這才多少年?你別和俺提啥幾百年的積累,這個(gè)世界上聰明這東西,咱積累了上下五千年,他們那個(gè)國(guó)家有這積累。

中國(guó)人只要吃飽了飯,還有咱干不了的?

別忘了,之前還有人天天叫囂什么圓珠筆的小鐵球,咱不會(huì)造,結(jié)果咱整了一鍋這玩意,直接就導(dǎo)致了一家造小鐵球的廠子倒閉了,因?yàn)榫瓦@一鍋,可以讓全世界撐好幾年的了,哎!這事弄的,似乎挺尷尬的。

好了,今天就寫到這里,喜歡的朋友加個(gè)關(guān)注,順手點(diǎn)個(gè)贊呦!

不吹牛的說(shuō),市面上存在的東西就沒(méi)有我們?cè)觳怀鰜?lái)的,荷蘭人這句話說(shuō)得有點(diǎn)過(guò)了,而且荷蘭人已經(jīng)被打臉了。

白手起家制造原子彈

很多人認(rèn)為制造光刻機(jī)比制造原子彈要難得多,導(dǎo)致越來(lái)越多的人認(rèn)為原子彈很容易制造的假象,其實(shí)絕非如此,中國(guó)第一顆原子彈耗費(fèi)了大量的人力、物力、財(cái)力。

1955年,新中國(guó)成立幾年時(shí)間,科技實(shí)力和經(jīng)濟(jì)水平十分的薄弱,但是沒(méi)有阻擋住中國(guó)人制造原子彈的決心。

中國(guó)的原子彈工程又稱“596計(jì)劃”,因?yàn)樵?959年6月蘇聯(lián)單方面撕毀中蘇國(guó)防新技術(shù)的協(xié)定,并撤走了專家,帶走了設(shè)備和圖紙,為了紀(jì)念這個(gè)艱苦的歲月,命名為“596計(jì)劃”。

原子彈是一個(gè)龐大的系統(tǒng)工程,包括科研、設(shè)計(jì)、制造、生產(chǎn)、試驗(yàn)等許多環(huán)節(jié),參與的人數(shù)也達(dá)到了30萬(wàn),除了錢學(xué)森、鄧稼先等科學(xué)家外,還有數(shù)萬(wàn)名技術(shù)工作者、工程師、民兵、工人和后勤人員等。

制造原子彈最為關(guān)鍵的就是原材料—

鈾是原材料必須的材料,技術(shù)和原料都是高度機(jī)密,而且鈾十分昂貴,當(dāng)時(shí)1公斤鈾價(jià)值1500萬(wàn)美元。而當(dāng)時(shí)中國(guó)GDP僅為900億人民幣。

第一步就是出動(dòng)地質(zhì)隊(duì),全國(guó)各地、深山老林中尋找鈾礦,經(jīng)過(guò)不懈的努力,最后終于在華中地區(qū)探測(cè)到了鈾礦。

隨后由工程師、技術(shù)人員、工人等組成的0萬(wàn)人的龐大隊(duì)伍,開(kāi)始開(kāi)采鈾礦,按照一枚原子彈需要15公斤鈾計(jì)算,就要開(kāi)采出3000噸高品質(zhì)鈾礦。

10萬(wàn)人用了10年的時(shí)間,終于制造出了2塊鈾坯。

鈾坯制造出后,還需要加工,以當(dāng)時(shí)的設(shè)備和技術(shù),制造工藝絕不亞于現(xiàn)在生產(chǎn)芯片的難度。

加工過(guò)程由3人操作:

第一人主刀:每車一刀,厚度僅有頭發(fā)絲的十分之一

第二人為監(jiān)護(hù):提醒主刀操作,同時(shí)及時(shí)拾起他車下的鈾屑,防止其積聚在切削盤內(nèi),引起裂變鏈?zhǔn)椒磻?yīng)。

第三人負(fù)責(zé)測(cè)量,主刀每車三刀,他就要測(cè)量一次,看看還差多少,還要車多少刀。

當(dāng)時(shí)的領(lǐng)導(dǎo)說(shuō)了一句話,讓所有人都緊張起來(lái)了,他說(shuō):同志們,鈾-235鑄件只有兩套,一個(gè)都不能有任何的損壞。這是我們的命根子,比我們的生命還重要。

主刀叫原公浦,他以精湛的技術(shù),完成了使命,被稱為“原三刀”。

車工完畢后,還有很多的工作要做。

10個(gè)核效應(yīng)大隊(duì)(科研、總后、海、陸、空、裝甲、防化、鐵道、工程、炮)需要在試驗(yàn)現(xiàn)場(chǎng)布置好樓房、車站、汽車、火車、飛機(jī)、坦克等各種效應(yīng)物。

而爆炸后,還需要進(jìn)行測(cè)試,需要有一批“敢死隊(duì)”進(jìn)入蘑菇云進(jìn)行采樣

就是在極端艱苦的條件下,在百?gòu)U待興的時(shí)刻,幾十萬(wàn)人用智慧、奉獻(xiàn)、甚至鮮血制造出了新中國(guó)第一顆原子彈。

單從技術(shù)和精確度來(lái)看光刻機(jī)似乎比原子彈更難制造

光刻機(jī)又名曝光機(jī),是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵設(shè)備,將電路結(jié)構(gòu)臨時(shí)"復(fù)制"到涂有光刻膠硅片上的過(guò)程,制造和維護(hù)需要高度的光學(xué)和精密制造技術(shù)。高端光刻機(jī)被稱為“現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花”,制造難度很大,全世界只有少數(shù)幾家公司能制造。

目前世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭ASML生產(chǎn)的EUV光刻機(jī),這臺(tái)光刻機(jī)可以生產(chǎn)出最先進(jìn)的5nm制程芯片。

這臺(tái)光刻機(jī)僅零部件就超過(guò)了十萬(wàn)個(gè),螺栓數(shù)量超過(guò)4萬(wàn)個(gè),3000多條線路,內(nèi)部軟管加起來(lái),就有兩公里長(zhǎng),設(shè)備重量達(dá)到了180噸,如此龐大精密的設(shè)備安裝調(diào)試就需要幾個(gè)月。

設(shè)備最精密的部件就是:鏡頭和光源

鏡頭:采用了德國(guó)蔡司鏡頭

蔡司是德國(guó)著名的光學(xué)儀器廠商,蔡司鏡頭歷史悠久,品質(zhì)優(yōu)良,成為了行業(yè)中“高貴”的代名詞,公司對(duì)鏡頭質(zhì)量要求非常高。

一個(gè)鏡片,如果工藝不同人打磨,光潔度相差十倍。因此,很多人在一個(gè)崗位上一干就是幾十年,擁有幾十年的技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)。

EUV光刻機(jī)采用的鏡頭要求:制作一個(gè)地球面積大小的鏡頭,誤差在一根頭發(fā)大小

光源:采用了美國(guó)Cymer公司極紫外光

極紫外光是一種波長(zhǎng)極短的光(僅為13nm),它是通過(guò)激光在特殊技術(shù)下產(chǎn)生的等離子源。

這種光源工作在真空環(huán)境下,產(chǎn)生紫外波長(zhǎng),然后由光學(xué)聚焦形成光束,光束經(jīng)由用于掃描圖形的反射掩膜版反射,由于極紫外光的固有特性,產(chǎn)生極紫外光的方式十分低效,能源轉(zhuǎn)換效率只有 0.02% 左右。

除了鏡頭和光源外,工作環(huán)境也很重要

精密工作臺(tái),工作臺(tái)要求:絕對(duì)穩(wěn)定的工作環(huán)境,芯片的曝光必須在真空中,并且采取恒溫技術(shù),工作室的空氣要比外界干凈1萬(wàn)倍,工作臺(tái)高速運(yùn)動(dòng)期間,系統(tǒng)不能振動(dòng)。而光刻機(jī)要多的事情,就好比在真空、恒溫、無(wú)塵、高速運(yùn)動(dòng)的環(huán)境中,在一粒米上雕刻清明上河圖,機(jī)械動(dòng)作誤差為皮秒(百萬(wàn)分之一秒),這些基本都是挑戰(zhàn)人類極限的工作。

這就是世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)—荷蘭ASML公司的EUV光刻機(jī),價(jià)格約為1.6億歐元每臺(tái),折合人民幣約12.5億元,關(guān)鍵是有錢還不一定能夠買到。

我國(guó)已經(jīng)擁有光刻機(jī),而且經(jīng)濟(jì)實(shí)力和技術(shù)實(shí)力大幅提高,造什么都不難,只要有決心。

1955年開(kāi)始研究原子彈,當(dāng)時(shí)國(guó)家GDP約為900億元,中國(guó)人口總數(shù)約為6億,平均受教育程度不足3年。

今天,我國(guó)GDP突破了100萬(wàn)億,人口達(dá)到了14億,平均受教育程度突破了10年。

北斗導(dǎo)航全面組網(wǎng)成功,天問(wèn)一號(hào)登上火星,5G、高鐵、量子計(jì)算、大飛機(jī)等紛紛問(wèn)世,部分技術(shù)達(dá)到了世界領(lǐng)先。

1978年,是我國(guó)博士培養(yǎng)的起點(diǎn),那一年僅僅招收了18名博士生,到了2017年已經(jīng)累計(jì)招收博士生約115萬(wàn)人,現(xiàn)在,中國(guó)14億多人口,博士占人口的比重為萬(wàn)分之5.7

1955年,中國(guó)汽車保有量10.15萬(wàn)輛,大部分家庭沒(méi)有汽車,很多地方的農(nóng)村連一輛都沒(méi)有。

2020年全國(guó)機(jī)動(dòng)車保有量達(dá)3.72億輛,其中汽車2.81億輛;機(jī)動(dòng)車駕駛?cè)诉_(dá)4.56億人,其中汽車駕駛?cè)诉_(dá)4.18億人。無(wú)論是城市還是農(nóng)村,汽車已經(jīng)不在稀奇,甚至很多地方,一個(gè)家庭沒(méi)有汽車才算是稀奇的事情。

可以說(shuō)無(wú)論從經(jīng)濟(jì)實(shí)力,科技發(fā)展、受教育程度都發(fā)生了巨大的變化,以目前的實(shí)力制造光刻機(jī)是完全可以實(shí)現(xiàn)的,只是時(shí)間的問(wèn)題,那么我國(guó)的光刻機(jī)究竟有沒(méi)有呢?

1、我們有國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)嗎?

答案是,生產(chǎn)企業(yè)是上海微電子

2、國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)現(xiàn)在能做到什么程度?

我們?cè)谏虾N㈦娮庸倬W(wǎng)可以看到,2018年3月,上海微電子的90nm光刻機(jī)項(xiàng)目通過(guò)正式驗(yàn)收。也就是說(shuō),我們的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)目前可以做到90納米工藝。

3、國(guó)產(chǎn)28納米光刻機(jī)是什么情況?

知名媒體DIGITIMES曾報(bào)道,上海微電子有望在2021年四季度交付第二代深紫外光(DUV)光刻機(jī),該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)28納米工藝。

所以,基本上可以做實(shí),上海微電子的確在做可以實(shí)現(xiàn)28納米制程的國(guó)產(chǎn)DUV光刻機(jī)。只是是否通過(guò)驗(yàn)收,到底何時(shí)能交付,目前未知。

荷蘭有人說(shuō)圖紙給我們也造不出光刻機(jī)來(lái),這句話已經(jīng)被否定了。

我國(guó)光刻機(jī)在精確度上與ASML的EUV光刻機(jī)仍有差距

我國(guó)的光刻機(jī)即將進(jìn)入28nm,28nm能夠達(dá)到什么水平呢?

嚴(yán)格意義來(lái)說(shuō),28nm真的算不上高水平,它的前面還有14nm、7nm、5nm、3nm。

但是28nm成熟工藝,可以生產(chǎn)日常生活中電子設(shè)備芯片,如:汽車、冰箱、空調(diào)、電梯等,而且28nm能夠生產(chǎn)軍用芯片,這些不需要太高的制造工藝,需要的是足夠高的穩(wěn)定性。

28nm芯片,如果用在手機(jī)上,那就差強(qiáng)人意了,甚至是無(wú)法使用,因?yàn)槭謾C(jī)空間有限,需要散熱、大容量電池等,那就對(duì)芯片尺寸有了很高的要求,也就需要更高的工藝水平,例如5nm、3nm制造工藝。

不同工藝生產(chǎn)出不同性能的芯片,我們以麒麟芯片為例來(lái)看一看:

  • 麒麟950,16nm工藝制程,30億個(gè)晶體管,4x2.3GHz A72+4x1.8GHz A53的架構(gòu);
  • 麒麟990,7nm工藝制程,103億個(gè)晶體管,包括一個(gè)3.13GHz A77大核心、三個(gè)2.54GHz A77中核心、四個(gè)2.04GHz A55小核心。
  • 麒麟9000,5nm工藝制程,153億個(gè)晶體管,包括一個(gè)3.13GHz A77大核心、三個(gè)2.54GHz A77中核心、四個(gè)2.04GHz A55小核心。

可以看出,隨著工藝制程不斷的升級(jí),芯片的晶體管數(shù)量也在快速地增加,性能也不斷的變強(qiáng)。

16nm工藝制程的芯片晶體管數(shù)量?jī)H為5nm工藝的1/5,那么28nm與5nm的差距只會(huì)更大。

我國(guó)的光刻機(jī)需要多久能夠達(dá)到世界先進(jìn)水平呢?

以過(guò)去的經(jīng)驗(yàn)來(lái)看,我國(guó)制造出世界領(lǐng)先的光刻機(jī)至少需要20至30年的時(shí)間,加上美國(guó)對(duì)技術(shù)和零部件的封鎖,需要花費(fèi)的時(shí)間會(huì)更長(zhǎng)。

但是現(xiàn)在的時(shí)代是在飛速的發(fā)展,我們同樣也要用發(fā)展的眼光去看待一件事,今天的中國(guó)無(wú)論是經(jīng)濟(jì)還是科技都已經(jīng)上了幾個(gè)臺(tái)階。

1955年,百?gòu)U待興,經(jīng)濟(jì)和科技十分落后,中國(guó)人咬著牙,硬是造出了原子彈,陳毅元帥的話說(shuō):“中國(guó)人就是沒(méi)有褲子穿,也要造出原子彈”。1964年10月16日,中國(guó)第一顆原子彈在羅布泊爆炸成功。徹底打臉了蘇聯(lián)領(lǐng)導(dǎo)人赫魯曉夫(赫魯曉夫曾大言不慚地說(shuō)中國(guó)離開(kāi)蘇聯(lián)不可能研制成功原子彈)

然而,更為震驚的是不到3年時(shí)間,中國(guó)第一顆氫彈空爆試驗(yàn)成功,從第一顆原子彈到第一顆氫彈,白手起家的中國(guó)人只用了兩年零八個(gè)月的時(shí)間,再次創(chuàng)造了奇跡。

1970年4月24日21時(shí)中國(guó)第一顆人造衛(wèi)星"東方紅一號(hào)"發(fā)射成功,由此開(kāi)創(chuàng)了中國(guó)航天史的新紀(jì)元,使中國(guó)成為繼蘇、美、法、日之后世界上第五個(gè)獨(dú)立研制并發(fā)射人造地球衛(wèi)星的國(guó)家,又一次創(chuàng)造了奇跡,足見(jiàn)中國(guó)人可以創(chuàng)造更多的奇跡。

這就是著名的“兩彈一星”工程,也由此產(chǎn)生了“兩彈一星”精神,在這種精神下,我們將無(wú)往不利,攻堅(jiān)克難。定能夠攻破高端光刻機(jī)。

事實(shí)上,在該領(lǐng)域我們也在不斷地突破:

2018年8月份,清華大學(xué)的研究團(tuán)隊(duì)研發(fā)出了雙工作臺(tái)光刻機(jī),我國(guó)成為全球第二個(gè)具備開(kāi)發(fā)雙工作臺(tái)光刻機(jī)的國(guó)家。

無(wú)獨(dú)有偶,2018年11月,中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所承擔(dān)的“超分辨光刻裝備研制”通過(guò)驗(yàn)收,該裝備采用365nm波長(zhǎng)的紫外光單次成像,實(shí)現(xiàn)了22納米的分辨率,結(jié)合雙重曝光技術(shù)后,未來(lái)還有可能用于制造10nm級(jí)別的芯片。

緊接著,在2019年4月,武漢光電國(guó)家技術(shù)研究中心甘棕松團(tuán)隊(duì)突破了光束衍射極限,采用遠(yuǎn)場(chǎng)光學(xué)的辦法,成功刻出9nm線寬的線段,實(shí)現(xiàn)了從超分辨成像到超衍射極限光刻制造的重大創(chuàng)新,這個(gè)技術(shù)讓我國(guó)打破了三維納米制造的國(guó)外技術(shù)壟斷。

近幾年突飛猛進(jìn)的科技水平,創(chuàng)造了無(wú)數(shù)的奇跡,相信在光刻機(jī)領(lǐng)域我們同樣能夠創(chuàng)造出奇跡。

根據(jù)研究機(jī)構(gòu)IC Insights發(fā)布的《2020-2024年全球晶圓產(chǎn)能》報(bào)告,預(yù)計(jì)到2024年,半導(dǎo)體制程格局將出現(xiàn)10nm以下,10-20nm,20nm以上工藝三分天下的格局,各自市場(chǎng)占有率約為1/3。

28nm以上的成熟工藝在未來(lái)四年的市場(chǎng)份額沒(méi)有明顯變化,仍然有很大的市場(chǎng),在這四年內(nèi),我們的光刻機(jī)水平也定能夠再上一個(gè)臺(tái)階。

問(wèn)答總結(jié)

如果在1955年時(shí)候,制造一枚原子彈和制造5nm工藝光刻機(jī)哪個(gè)更難?毫無(wú)疑問(wèn)是光刻機(jī)。

而時(shí)至今日,我國(guó)的科技和經(jīng)濟(jì)實(shí)力已經(jīng)大大提升,在此基礎(chǔ)上制造5nm工藝光刻機(jī)會(huì)比制造原子彈簡(jiǎn)單。

荷蘭有人說(shuō)圖紙給我們也造不出光刻機(jī)來(lái),這句話已經(jīng)打臉了,因?yàn)槲覀円呀?jīng)擁有了光刻機(jī),制造商為上海微電子,而且是純國(guó)產(chǎn),這一點(diǎn)上比ASML還要牛,因?yàn)樗a(chǎn)的光刻機(jī)是集合多國(guó)精尖技術(shù)于一身打造的,如果受到限制,也只能停產(chǎn)。

總之,我國(guó)已經(jīng)擁有光刻機(jī),而且在未來(lái)幾年還會(huì)擁有更為先進(jìn)的光刻機(jī)。


我是科技銘程,以上是我的回答,希望可以幫到您,如有不妥之處,敬請(qǐng)批評(píng)指正!

《論語(yǔ)》曾言:工欲善其事,必先利其器。

近日美國(guó)雖將華為臨時(shí)許可延長(zhǎng)至8月31日,可其卻又出新規(guī),凡使用美國(guó)芯片制造設(shè)備的外國(guó)芯片廠,必須經(jīng)過(guò)美國(guó)批準(zhǔn)才能進(jìn)行生產(chǎn),明擺著美國(guó)欲切斷華為芯片供應(yīng)鏈。

雖然華為自主研發(fā)的芯片已有明顯進(jìn)展,可其代加工廠臺(tái)積電如果被美國(guó)新規(guī)限制,華為又將面臨無(wú)芯片可用風(fēng)險(xiǎn)。

而華為如果將芯片業(yè)務(wù)轉(zhuǎn)向中芯國(guó)際,可以中芯國(guó)際目前技術(shù)水平,生產(chǎn)7nm以下的芯片還有些困難,只能勝任華為中端芯片業(yè)務(wù)。

有人說(shuō)如果給華為一臺(tái)EUV光刻機(jī),一切芯片問(wèn)題都迎刃而解。深以為然,熟知半導(dǎo)體工藝的朋友,皆知集成電路里的晶體管是通過(guò)光刻工藝在晶圓上蝕刻出來(lái)的,由此光刻工藝就決定了半導(dǎo)體線路的線寬,同時(shí)也決定了芯片的性能和功耗。那么決定光刻工藝的光刻機(jī)就成了制造芯片最關(guān)鍵設(shè)備。

我國(guó)光刻機(jī)龍頭企業(yè)上海微電子設(shè)備公司,目前技術(shù)已達(dá)到28nm分辨率,雖然能滿足國(guó)內(nèi)國(guó)防與基礎(chǔ)建設(shè)需要,可與能生產(chǎn)7nm甚至5nm以下芯片的EUV光刻機(jī)相比還有不小差距。

而世界上能生產(chǎn)EUV光刻機(jī)只有荷蘭阿斯麥獨(dú)此一家。也許有人會(huì)說(shuō),我們?cè)訌椂寄茉斐鰜?lái),光刻機(jī)還不是小菜一碟嗎?其實(shí)光刻機(jī)還真不是我們想象的那么簡(jiǎn)單。

原子彈完全可以憑一國(guó)之力研發(fā)生產(chǎn),就如印度、巴基斯坦、朝鮮等小國(guó)都已是擁核國(guó)家,可想而知原子彈研發(fā)并非頂級(jí)難度。

而光刻機(jī)的技術(shù)涉及機(jī)電一體化、物理、機(jī)械、電氣、軟件和人工智能六大領(lǐng)域,不是一國(guó)科技能力能完成之事。

即便如今在世界光刻機(jī)領(lǐng)域一家獨(dú)大的荷蘭阿斯麥公司,亦是集多國(guó)高端科技之力,由德國(guó)企業(yè)提供了精密機(jī)械支持和光學(xué)技術(shù)的支持,美國(guó)企業(yè)提供了光源的支持和計(jì)量技術(shù)的支持。

阿斯麥公司成立于1984年,原是飛利浦旗下子公司,主攻研發(fā)光刻機(jī),一直在光刻機(jī)領(lǐng)域處于領(lǐng)先地位。后隨著世界對(duì)芯片技術(shù)要求提高,阿斯麥公司于2013年研發(fā)出使用光源為22nm的EUV光刻機(jī),2017年更先進(jìn)的使用光源為13nm的EUV光刻機(jī)研發(fā)成功,使7nm以下(一根頭發(fā)萬(wàn)分之一)制程的芯片量產(chǎn)成為現(xiàn)實(shí)。

自此阿斯麥將競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手日本佳能與尼康茍延殘喘的境地,在45納米以下制程的高端光刻機(jī)市場(chǎng)中,擁有80%以上的市場(chǎng)份額,而在EUV光刻機(jī)領(lǐng)域,市場(chǎng)份額已近100%,處于獨(dú)家供貨壟斷的狀態(tài),成為世界光刻機(jī)領(lǐng)域王者之尊,掌控了世界芯片命脈。

由此EUV光刻機(jī)作為制造10nm以下芯片必備設(shè)備,因其科技高附加值價(jià)格一路走高,每臺(tái)售價(jià)竟達(dá)到1.2億美元,還不是誰(shuí)有錢就可以買到。

荷蘭阿斯麥一招鮮贏天下,不管世界半導(dǎo)體三巨頭英特爾、三星、臺(tái)積電競(jìng)爭(zhēng)多么激烈,只穩(wěn)坐釣魚(yú)臺(tái)坐等收錢,因?yàn)槿揞^誰(shuí)也不敢得罪阿斯麥。

當(dāng)然也有公司不滿阿斯麥高價(jià)壟斷,就如三星就曾想靠商業(yè)間諜竊取阿斯麥核心機(jī)密,卻終未能得,反倒被阿斯麥嘲笑將光刻機(jī)送到三星手中二十多年,也未制造出自己的光刻機(jī)。

于是當(dāng)2019年,美國(guó)曾污稱我國(guó)某公司盜取阿斯麥EUV光刻機(jī)商業(yè)機(jī)密時(shí),阿斯麥為此并不以為意,只把我國(guó)公司當(dāng)成第二個(gè)三星,即便我國(guó)擁有EUV光刻機(jī)的圖紙,也不可能短時(shí)間造出EUV光刻機(jī)。

常言道普通公司都是被動(dòng)跟著別人跑,怎么追都追不上,而偉大的公司都是主動(dòng)求新求變始終跑在別人前面。

實(shí)力就是硬道理,我國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)起步晚,如果想跟上阿斯麥步伐任重道遠(yuǎn)。借人之智完善自己,我們可以從阿斯麥發(fā)展理念中汲取經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn),但也不能一味追隨模仿,只有創(chuàng)造出屬于自己的芯片制造標(biāo)準(zhǔn)才是王道。

沒(méi)有傷痕累累,哪來(lái)皮糙肉厚,英雄自古多磨難。回頭看,崎嶇坎坷;向前看,永不言棄。

我相信憑借我國(guó)科研人員硬核專研精神與睿智,不久的將來(lái),我們一定能擺脫光刻機(jī)與芯片對(duì)外國(guó)嚴(yán)重依賴,遠(yuǎn)離無(wú)芯之痛。

從技術(shù)難度和供應(yīng)鏈體系的角度來(lái)說(shuō),光刻機(jī)的制造更難一點(diǎn),尤其是高端光刻機(jī)的制造,并不是一個(gè)國(guó)家的制造體系和科研能力能夠完成的事情。

先說(shuō)說(shuō)原子彈,原子彈制造理論和方法并不復(fù)雜,尤其是在上世紀(jì)各國(guó)紛紛制造出核彈以后,核彈制造的方法已經(jīng)不是什么秘密,甚至在20世紀(jì)70年的時(shí)候,美國(guó)哈佛大學(xué)經(jīng)濟(jì)系一個(gè)叫林特的學(xué)生,僅憑在圖書(shū)館專研相關(guān)書(shū)籍,就寫出了400余頁(yè)的《制造核彈的方法》,而對(duì)于這一報(bào)告,美國(guó)和武器專家都很驚嘆,表示這篇報(bào)告是他看到的最詳細(xì),最全面的報(bào)告。

原子彈是制造難度主要是表現(xiàn)在核裝置的設(shè)計(jì)和核燃料的提取,但是這種難度在一個(gè)國(guó)家的制造體系和科研力量全面支持的情況下,也并非不能克服。比如我們?cè)谛侣勆辖?jīng)常聽(tīng)到的伊朗和朝鮮核試驗(yàn)的新聞,伊朗和朝鮮的科研水平和工業(yè)制造能力不用多說(shuō),跟中國(guó)相比差的都不是一個(gè)等級(jí)的事兒,但是他們卻都能造出原子彈,可見(jiàn)原子彈的制造難度也真的沒(méi)那么大。

再來(lái)說(shuō)說(shuō)光刻機(jī),光刻機(jī)是制造芯片的重要裝備,光刻機(jī)的水平主要是看精度,目前我國(guó)能制造的最先進(jìn)的光刻機(jī)也只有14納米的精度,跟世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)還有很大的差距。高端的光刻機(jī)作為頂級(jí)的生產(chǎn)設(shè)備,它集成了上百種最先進(jìn)的技術(shù),單單是零件就有幾萬(wàn)個(gè),而且其中許多零件都非常復(fù)雜,科技水準(zhǔn)都是世界最先進(jìn)的水平,單單是這些零部件,僅憑一個(gè)國(guó)家的科研和制造能力幾乎不可能全部造出來(lái)。

目前世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭ASML生產(chǎn)的EUV光刻機(jī),其精度可以達(dá)到5nm的級(jí)別,它所需的零件超過(guò)10萬(wàn)個(gè),而且90%以上的零配件都需要從多個(gè)國(guó)家進(jìn)口,以EUV所用的鏡頭為例,全部由世界頂級(jí)鏡片制造商蔡司提供,他們生產(chǎn)的各種鏡頭、反光鏡和其他光學(xué)部件,沒(méi)有任何一家公司能模仿的來(lái)。

所以,光刻機(jī)的制造并不是說(shuō)有圖紙就行的,還需要一大堆的擁有各項(xiàng)頂尖技術(shù)的供應(yīng)商的支持,而在這些高端技術(shù)背后是一整條高端生產(chǎn)制造產(chǎn)業(yè)鏈,就算是科技水平最高的美國(guó),也沒(méi)有能力單獨(dú)完成這高端光刻機(jī)的制造。

我既不懂造原子彈,又不懂造光刻機(jī),從技術(shù)上回答不明白哪個(gè)更難,只好憑著現(xiàn)象來(lái)推斷。

獨(dú)立地造出光刻機(jī)的國(guó)家至今也沒(méi)有美國(guó)。而獨(dú)立地造出原子彈的國(guó)家,不止有美國(guó)、中國(guó),連印度、巴基斯坦、朝鮮和伊朗4個(gè)國(guó)都有,造出光刻機(jī)的國(guó)家卻只有荷蘭、日本和中國(guó)3個(gè),制造廠加一起共4個(gè),其中,1個(gè)為高端+世界頂級(jí),3個(gè)為中低端。后3個(gè)國(guó)無(wú)論科技實(shí)力還是綜合國(guó)力都比前4個(gè)國(guó)強(qiáng),當(dāng)然都比美國(guó)弱,而且弱很多,不過(guò)呢,偏偏沒(méi)有美國(guó),中國(guó)則是3個(gè)國(guó)中唯一的光刻機(jī)獨(dú)立制造國(guó)。即便如此,也似不可以說(shuō)美國(guó)造不出光刻機(jī),肯定不可以說(shuō)因?yàn)闆](méi)有美國(guó)所以造光刻機(jī)比造原子彈還難,倒是可以說(shuō),對(duì)中國(guó)而言,獨(dú)立地造出原子彈和光刻機(jī)都不是個(gè)難事,早就不是,并且據(jù)報(bào)道,造出來(lái)的光刻機(jī)在當(dāng)時(shí)僅比荷蘭差1代,厲害不?要說(shuō)難都難、要說(shuō)不難都不難,如果一定要回答哪個(gè)更難,只能把現(xiàn)象擺出來(lái):在中國(guó),原子彈是用舉國(guó)之力造出來(lái)的,光刻機(jī)卻不是

那“為何荷蘭有人說(shuō)圖紙給我們也造不出來(lái)”光刻機(jī)呢?中國(guó)已經(jīng)造出來(lái)了,荷蘭那個(gè)人簡(jiǎn)直是在瞪眼說(shuō)瞎話啊!其實(shí)應(yīng)該不是瞎說(shuō),如果荷蘭真的有人這么說(shuō)了,肯定是指造高端和世界頂級(jí)的光刻機(jī),的確,中國(guó)真的還沒(méi)有造出世界頂級(jí)光刻機(jī),連高端光刻機(jī)都還沒(méi)有影呢。對(duì)早已量產(chǎn)的中國(guó)90納米光刻機(jī)距荷蘭的最高水平,現(xiàn)在有人說(shuō)差10年,有人說(shuō)差15年、20年,我們國(guó)家在制定十三五規(guī)劃的2016年時(shí)認(rèn)為差15年,所以給出了在2030年達(dá)到比肩荷蘭的目標(biāo)。成立于1984年的荷蘭ASML是在2017年造出可量產(chǎn)7納米以下制程芯片的EUV光刻機(jī)的,歷時(shí)33年,而成立于2002年的上海微電子則是在2007年造出了90納米光刻機(jī),但據(jù)報(bào)道,9年后——恰好是2016年——才量產(chǎn),歷時(shí)14年,當(dāng)時(shí)量產(chǎn)不了是因?yàn)樵斐龊缶捅煌鈬?guó)斷供了零部件,后來(lái)量產(chǎn)了是依靠國(guó)內(nèi)供應(yīng)鏈上企業(yè)的獨(dú)立自主研發(fā),從此走上了光刻機(jī)整機(jī)制造和零部件制造國(guó)產(chǎn)化的道路;到2030年,上海微電子造出媲美荷蘭的EUV光刻機(jī)就是一共用了28年,便是比ASML少用了5年,當(dāng)然是更快的,關(guān)鍵是將再一次表明中國(guó)是更善于攻堅(jiān)克難的國(guó)家。

不能不提到:如果上海微電子在2007年沒(méi)被斷供呢?上海微電子仍然利用外國(guó)技術(shù)制造光刻機(jī)至今,達(dá)14年,加上之前的5年共19年,肯定是還沒(méi)達(dá)到ASML今天的水平,即差了1個(gè)高端化,同時(shí)又差了1個(gè)國(guó)產(chǎn)化,加一起是中國(guó)仍然沒(méi)有國(guó)產(chǎn)化高端光刻機(jī),關(guān)鍵是連國(guó)產(chǎn)化的道路都還沒(méi)有走上,包括還是走在“知其然”的路上,距走到“知其所以然”還差老遠(yuǎn)了,這是不是賠大了?可以肯定的是上海微電子至今仍然有被斷供即被卡脖子的危險(xiǎn),就像今天的中芯國(guó)際那樣,華為對(duì)買國(guó)產(chǎn)化光刻機(jī)辦芯片制造廠這個(gè)事就會(huì)連想都不會(huì)想。自然,外國(guó)當(dāng)時(shí)不可能不斷供;更不可能給制造高端光刻機(jī)的圖紙,荷蘭的那個(gè)人不過(guò)是說(shuō)說(shuō)而已,心里對(duì)美國(guó)肯定不會(huì)讓給、荷蘭肯定不能不聽(tīng)從明鏡似的,當(dāng)然,那個(gè)人這么說(shuō)也是因?yàn)楦揪筒涣私庵袊?guó)人有多么的智慧、聰明。完全可以肯定,假設(shè)給了圖紙,中國(guó)企業(yè)就一定會(huì)加速達(dá)到高端化。

荷蘭得到了世界頂尖配套技術(shù)才造出了世界頂級(jí)光刻機(jī)。這確定無(wú)疑,連一開(kāi)始的低端光刻機(jī)都是如此,否則就一定造不出來(lái),等于是遇到了本國(guó)根本就解決不了的大難題,至今都解決不了!從開(kāi)始到現(xiàn)在,荷蘭ASML得到了哪些強(qiáng)國(guó)的強(qiáng)企所提供的世界頂尖配套技術(shù),也就是與多少家屬于美國(guó)盟國(guó)盟友的光刻機(jī)相關(guān)技術(shù)全球領(lǐng)先企業(yè)始終抱成一團(tuán),是已知的,不必再?gòu)?fù)述,那么,上海微電子呢?得不到世界頂尖配套技術(shù)也能造出世界頂級(jí)光刻機(jī),只因?yàn)橹袊?guó)的配套企業(yè)必定能夠提供相匹配的技術(shù),先前用9個(gè)年頭研發(fā)出了低端的國(guó)產(chǎn)化配套技術(shù),再用15年——從現(xiàn)在算起還有10年——研發(fā)出高端國(guó)產(chǎn)化的光刻機(jī)整機(jī)技術(shù)和配套技術(shù)是完全可能的。

文/阿樹(shù)

最近,關(guān)于光刻機(jī)的話題可謂是非常火爆,大家都在議論紛紛。這不,最近阿樹(shù)看到了這樣一個(gè)討論,那就是光刻機(jī)和氫彈這兩個(gè)東西,到底誰(shuí)建造起來(lái)更難呢?在看到這個(gè)問(wèn)題的時(shí)候,有人肯定會(huì)不假思索地說(shuō),氫彈會(huì)更難一些。但是阿樹(shù)相信大部分人都難以分別,畢竟這兩樣都是國(guó)之重器,不過(guò),從稀有程度上來(lái)說(shuō),氫彈中美俄都能搞得出來(lái),但頂尖的光刻機(jī)卻只有荷蘭和日本能搞,所以光刻機(jī)自然更加珍貴一些。

不過(guò),阿樹(shù)今天還真得跟大家好好聊聊,光刻機(jī)究竟難在哪。我們都知道,氫彈作為原子彈的進(jìn)階版本,對(duì)于各方面理論和技術(shù)都有非常高的要求,對(duì)國(guó)家的實(shí)力和科研能力都是非常大的考驗(yàn)。所以,氫彈的研發(fā)難度也并不低,相反,它的門檻非常高,即便是有核國(guó)家也不是輕易能碰得了的,像英國(guó)這樣的國(guó)家,在美國(guó)的幫助下,也花了4年之久。不過(guò),氫彈的難點(diǎn)主要集中在前期研發(fā)和攻關(guān)上,而光刻機(jī)則不然,換句話說(shuō),這兩樣?xùn)|西難倒都挺難的,只不過(guò)難的點(diǎn)不一樣。

所謂的光刻機(jī),我們可以把它簡(jiǎn)單理解為類似于膠卷曝光的設(shè)備,它是生產(chǎn)集成電路的重要設(shè)備。它的大概生產(chǎn)流程是這樣的,光刻機(jī)會(huì)發(fā)出光,光通過(guò)掩膜之后再由透鏡縮小,最后投射到晶圓上。

然后就可以把晶圓泡在特制的化學(xué)制劑中,蝕刻出電路,洗干凈之后,一大堆集成電路就出現(xiàn)了。聽(tīng)起來(lái)是不是特別簡(jiǎn)單,但是每一種光刻機(jī)的實(shí)力都是不一樣的,低端光刻機(jī)大部分國(guó)家都有,它的精度比較差,價(jià)格也比較便宜。但是高端的光刻機(jī),可以制造5nm級(jí)的芯片,而這種高端的光刻機(jī),卻只有荷蘭和日本有。那么問(wèn)題又來(lái)了,光刻機(jī)的哪些技術(shù)環(huán)節(jié)勸退了大部分國(guó)家呢?

首先就是光刻機(jī)的鏡頭,這樣一塊小小的鏡頭,屬實(shí)是難住了大部分國(guó)家。以荷蘭的ASML為例,他們家的光刻機(jī)用的是蔡司的鏡頭,除了蔡司之外,佳能和尼康也都能生產(chǎn)高端的光刻機(jī)鏡頭。但是,除了這幾家之外,就鮮有能生產(chǎn)鏡頭的了。鏡頭的好壞,將直接決定成品的質(zhì)量,所以鏡頭的誤差要求非常嚴(yán)格,30厘米的長(zhǎng)度上,鏡面起伏不能超過(guò)0.3納米。什么概念?這就相當(dāng)于上千公里的鐵路,從頭到尾海拔的誤差不能超過(guò)一毫米。

你以為解決了鏡頭和其他高難度的技術(shù)環(huán)節(jié),光刻機(jī)的難題就解決了嗎?除了技術(shù)上的難題之外,光刻機(jī)還要面臨著盈利和虧損的問(wèn)題,以及成套的體系化問(wèn)題。荷蘭的ASML固然非常厲害,但阿樹(shù)剛才也說(shuō)了,它的鏡頭是蔡司的,光源則是美國(guó)和日本的,除此之外,ASML在全球各地都有服務(wù)中心和工程師,一旦出現(xiàn)問(wèn)題大家一起研究,最后給出一個(gè)解決方案,同時(shí)解決自家光刻機(jī)的難題。長(zhǎng)期循環(huán)下來(lái),問(wèn)題不斷地被提出,光刻機(jī)持續(xù)被完善,客戶的口碑也積攢下來(lái)了。

最終的結(jié)果就是,ASML的光刻機(jī)質(zhì)量越來(lái)越好,客戶越來(lái)越愿意買,它的體系遍及五湖四海。而且這個(gè)體系并不是誰(shuí)都有的,就連超級(jí)大國(guó)美國(guó),也只有眼饞的份。但由于美國(guó)是產(chǎn)業(yè)的一部分,所以也不擔(dān)心這些問(wèn)題。總的來(lái)說(shuō),這是長(zhǎng)期發(fā)展和積累產(chǎn)生的優(yōu)勢(shì),而且有一定的先發(fā)優(yōu)勢(shì)在里面,機(jī)器和技術(shù)的優(yōu)勢(shì),只是很小的一部分。所以,光刻機(jī)到底是怎么回事,荷蘭已經(jīng)給了我們答案。當(dāng)然,我們對(duì)光刻機(jī)還有一個(gè)非常重要的需求,那就是形成產(chǎn)業(yè)鏈,并且實(shí)現(xiàn)收益,最終實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)的整體升級(jí)。

無(wú)論是氫彈還是航母,亦或是火箭,這些涉及到國(guó)家戰(zhàn)略的東西,成本和收益根本不在考慮范圍之內(nèi),因?yàn)樗挠猛竞凸饪虣C(jī)就完全不同。如果非要阿樹(shù)類比的話,光刻機(jī)就相當(dāng)于印鈔機(jī),印出來(lái)的芯片就是鈔。如果不能實(shí)現(xiàn)芯片批量生產(chǎn),那么再好的光刻機(jī)也沒(méi)有意義。所以,別人卡我們的脖子不會(huì)僅僅通過(guò)光刻機(jī)來(lái)卡,還會(huì)從芯片上卡,尤其是高端芯片和高端光刻機(jī)。而外界卡我們脖子的最終目的,是為了阻止我們的產(chǎn)業(yè)升級(jí)。

而且,著急是沒(méi)有用的,我們現(xiàn)在看到的光刻機(jī)技術(shù),基本都是面對(duì)科技和民用領(lǐng)域的,軍用領(lǐng)域和國(guó)家戰(zhàn)略領(lǐng)域,這方面完全不用愁,高鐵就是一個(gè)非常顯著的例子,我們的高鐵芯片完全能實(shí)現(xiàn)自主化。而面對(duì)民用領(lǐng)域和全球市場(chǎng)的光刻機(jī)以及芯片技術(shù),光突破技術(shù)是不行的,必須要瞄準(zhǔn)全球市場(chǎng)和規(guī)律,并且狠下心來(lái)投資,這些投入要遠(yuǎn)比單純開(kāi)發(fā)先進(jìn)的光刻機(jī)重要。

從技術(shù)來(lái)說(shuō)肯定光刻機(jī)更難。原子彈只要理論懂了造出來(lái)不難,像朝鮮、巴基斯坦、印度都不是發(fā)達(dá)國(guó)家,也沒(méi)有先進(jìn)的工業(yè)體系,但都造出了原子彈。

而光刻機(jī)不同,它有幾萬(wàn)個(gè)零部件,涉及機(jī)械、電子、光學(xué)、儀器、化學(xué)、材料學(xué)等幾十個(gè)學(xué)科門類,堪稱人類科學(xué)的集大成者!即使是asml公司也不是獨(dú)自完成的制造任務(wù),它有幾萬(wàn)家直接和間接的供應(yīng)商,asml更像是牽頭人,課題組組長(zhǎng),帶領(lǐng)相關(guān)人才和企業(yè)一同完成研發(fā)和制造任務(wù)。

從技術(shù)難度來(lái)說(shuō),光刻機(jī)比原子彈難無(wú)數(shù)倍!

年代,條件,環(huán)境不同,沒(méi)有可比性。在不同年代,有不同的高端技術(shù)出現(xiàn),才符合事物發(fā)展的規(guī)律。

造原子彈和光刻機(jī)哪個(gè)更難?為何荷蘭有人說(shuō)圖紙給我們也造不出來(lái)?

2002年,中國(guó)成立上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司SMEE,當(dāng)時(shí)的總經(jīng)理賀榮明去德國(guó)考察時(shí),當(dāng)時(shí)有德國(guó)工程師告訴他:“給你們?nèi)讏D紙,也做不出來(lái)。”

這話說(shuō)的夸張嗎?一點(diǎn)都不夸張!目前一臺(tái)高端的光刻機(jī)整機(jī)光包含曝光系統(tǒng)、工件臺(tái)掩模臺(tái)系統(tǒng)、自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、調(diào)焦調(diào)平測(cè)量系統(tǒng)、掩模傳輸系統(tǒng)、硅片傳輸系統(tǒng)、環(huán)境控制系統(tǒng)、整機(jī)框架及減振系統(tǒng)、整機(jī)控制系統(tǒng)、整機(jī)軟件系統(tǒng)等,這些零部件有很多都是定制的,甚至有一些零部件都需要工程師經(jīng)過(guò)機(jī)械慢慢打磨出來(lái)。

光刻機(jī)絕對(duì)是世界頂尖光學(xué)、電子等高精尖技術(shù)的結(jié)晶,連ASML本身有很多零部件他們自己也無(wú)法生產(chǎn),很多高端零部件都是從美國(guó)、德國(guó)、日本等國(guó)家進(jìn)口的,比如目前ASML的鏡頭是由德國(guó)的蔡司提供,電源是由美國(guó)的一家公司提供。

曾經(jīng)有一位美國(guó)工程師是這樣評(píng)價(jià)光刻機(jī)的,他說(shuō):“光刻機(jī)的一個(gè)小零件,工程師就需要調(diào)整高達(dá)十年之久,就連尺寸的調(diào)整就要高達(dá)百萬(wàn)次以上。”

也就是說(shuō),想制造出一臺(tái)優(yōu)秀的光刻機(jī),不光有圖紙,還需要一大堆頂尖技術(shù)和頂尖供應(yīng)商的支持,需要一條頂尖科技產(chǎn)業(yè)鏈的支持,需要光學(xué)、電子、機(jī)械等多部門的共同協(xié)作,就算如今科技水平領(lǐng)先的美國(guó),也沒(méi)有辦法獨(dú)立設(shè)計(jì)制造一臺(tái)高端/超高端光刻機(jī)。

而中國(guó)此時(shí)依然面臨著歐美國(guó)家嚴(yán)密的技術(shù)封鎖,甚至連購(gòu)買成品光刻機(jī)都時(shí)刻會(huì)被歐美國(guó)家卡脖子,可見(jiàn)光刻機(jī)的重要性。

想彎道超車基本就是癡人說(shuō)夢(mèng),只能踏踏實(shí)實(shí)積累技術(shù)。

那中國(guó)有自己的光刻機(jī)企業(yè)嗎?有,上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司,已經(jīng)有能力生產(chǎn)制造600掃描光刻機(jī)系列、500步進(jìn)光刻機(jī)系列等光刻機(jī)的能力,但生產(chǎn)的依然是中低端產(chǎn)品,在高端超高端市場(chǎng)上,中國(guó)沒(méi)有此類產(chǎn)品,而且市場(chǎng)都被AMSL、尼康和佳能壟斷,英特爾、三星、海力士、臺(tái)積電、中芯國(guó)際等公司都在采購(gòu)AMSL的光刻機(jī)。

國(guó)內(nèi)最先進(jìn)的制程還停留在14nm水平,這也是在去年年底才量產(chǎn)。即使是普通的7nm工藝光刻機(jī),恐怕也要等到2021年才有可能交付。

至于原子彈的制造實(shí)際上已經(jīng)不是什么秘密,早在20世紀(jì)70年的時(shí)候,美國(guó)哈佛大學(xué)經(jīng)濟(jì)系一個(gè)叫林特的學(xué)生,僅憑在圖書(shū)館專研相關(guān)書(shū)籍,就寫出了400余頁(yè)的《制造核彈的方法》;美國(guó)的天才高中生14歲就在家里造出核反應(yīng)堆。

如今你上網(wǎng)搜,原子彈教程清清楚楚掛著。

原子彈的制造難度主要是原子彈的小型化上。站在國(guó)家層面上,只要集中科研攻關(guān),都不是大難題,當(dāng)年中國(guó)一窮二白,靠人馱馬拉在戈壁灘建立了核試驗(yàn)場(chǎng),靠算盤子打出了原子彈的計(jì)算公式,而朝鮮、伊朗等國(guó)也先后試爆了自己的核裝置。

但中國(guó)已經(jīng)成功將核武器小型化,完全實(shí)現(xiàn)了一箭多彈,東風(fēng)41型洲際彈道導(dǎo)彈可攜帶6-10枚分導(dǎo)式核彈頭。

所以說(shuō),相比光刻機(jī),原子彈真的太簡(jiǎn)單了。

即便光刻機(jī)再難,相信堅(jiān)韌不拔的中國(guó)人一定能攻克這一難關(guān)。

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原子彈是軍事領(lǐng)域的戰(zhàn)略重器,光刻機(jī)是制造業(yè)領(lǐng)域的戰(zhàn)略重器,兩者雖然差別大,但地位一樣重要。如果從技術(shù)難度和學(xué)科復(fù)雜程度來(lái)看,毫無(wú)疑問(wèn),光刻機(jī)的難度要高于原子彈。至少在當(dāng)今世界上,還沒(méi)有哪個(gè)國(guó)家僅憑自身的力量徹底解決光刻機(jī)需要的所有技術(shù)問(wèn)題和零部件生產(chǎn)工藝難題。荷蘭阿斯麥光刻機(jī)是國(guó)際技術(shù)合作的結(jié)果,并不是美國(guó)一國(guó)的技術(shù)實(shí)力。美國(guó)的精明之處在于,它提前看到了阿斯麥這家企業(yè)的價(jià)值,掌握了該企業(yè)的大部分股權(quán)。

原子彈在問(wèn)世之初,也經(jīng)歷了復(fù)雜的技術(shù)探索。美國(guó)的絕密“曼哈頓工程”匯集了美國(guó)優(yōu)秀的核物理及材料、化學(xué)等各領(lǐng)域?qū)<遥瑲v經(jīng)多年才取得成功。原子彈是建立在愛(ài)因斯坦重要理論之上的應(yīng)用技術(shù)。研制原子彈的關(guān)鍵在于核設(shè)備和核原料,二戰(zhàn)時(shí)期德國(guó)其實(shí)已經(jīng)掌握了原子彈的基本技術(shù),但缺乏核原料,運(yùn)輸濃縮鈾的船被盟軍襲擊,這才壓制住了德國(guó)的反撲計(jì)劃。

二戰(zhàn)結(jié)束后,隨著核技術(shù)和核材料的擴(kuò)散,擁核國(guó)開(kāi)始變多。印度和巴基斯坦這兩個(gè)科技實(shí)力不強(qiáng)的國(guó)家也掌握了原子彈技術(shù),成為擁核國(guó)。伊朗實(shí)際上也具備制造核武器的能力。國(guó)際社會(huì)及時(shí)制定規(guī)則,防范核擴(kuò)散,這才避免了核武器的大范圍出現(xiàn),降低了核大戰(zhàn)的風(fēng)險(xiǎn)。由此可見(jiàn),核技術(shù)只要突破了關(guān)鍵技術(shù)門檻,大部分中等國(guó)家都可以研制。

而光刻機(jī)就不同了,目前全球技術(shù)實(shí)力最強(qiáng)的光刻機(jī)企業(yè)是荷蘭阿斯麥。它原來(lái)是百年老店飛利浦旗下的一家公司,專業(yè)制造光刻機(jī)。這家公司生產(chǎn)的高端EUV光刻機(jī)設(shè)備領(lǐng)跑全球,是國(guó)際上唯一能夠解決7納米及以下光刻工藝的專業(yè)機(jī)器。擁有了高端EUV光刻機(jī),才能在晶圓上蝕刻出高技術(shù)水平的集成電路晶體管。它會(huì)直接決定半導(dǎo)體線路的線寬,影響芯片性能和功耗。我們熟知的臺(tái)積電,就是一家1987年成立的晶圓加工企業(yè)。由于它用的是荷蘭公司的光刻機(jī),這家荷蘭公司又被美國(guó)實(shí)際控股,所以美國(guó)要求臺(tái)積電斷供。臺(tái)積電雖然拖延了些時(shí)日,但華為的芯片供應(yīng)還是出了問(wèn)題,高端麒麟芯片無(wú)法再生產(chǎn)了。

這架荷蘭企業(yè)由于其特殊的地位,它融匯了歐洲很多技術(shù)企業(yè)的技術(shù)成果。其中有德國(guó)蔡司公司的光學(xué)儀器,以及其他公司的高精度機(jī)械設(shè)備,美國(guó)公司的光源技術(shù)和計(jì)量技術(shù)。這家企業(yè)很好的整合多方技術(shù)和資源,最終推出了先進(jìn)7納米級(jí)光刻機(jī),壟斷了高端光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)。目前國(guó)內(nèi)在光刻機(jī)領(lǐng)域發(fā)展較好的是上海微電子,技術(shù)能達(dá)到28納米,差距還比較大。

光刻機(jī)需要整合材料、機(jī)械、電氣、軟件、AI以及機(jī)電一體化等諸多技術(shù)領(lǐng)域,一個(gè)國(guó)家很難在這么多領(lǐng)域都達(dá)到世界級(jí)水準(zhǔn)。研究這些技術(shù)需要投入巨額資金,堪稱天文數(shù)字,即使是美國(guó),也難以獨(dú)自解決所有問(wèn)題。

因此相比于原子彈,光刻機(jī)難度要更大一些。比較實(shí)際的選擇只能是逐漸積累技術(shù),在各行各業(yè)繁榮發(fā)展,國(guó)家經(jīng)濟(jì)健康增長(zhǎng)的前提下。慢工出細(xì)活,爭(zhēng)取在未來(lái)解決光刻機(jī)技術(shù)難題。

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