說到芯片，估計大家都知道是什么玩意，但說到光刻機很多人可能就不知道是什么東西了，光刻機就是制造芯片的機器設備，沒有光刻機芯片是沒法生產出來的，所以光刻機對于芯片制造業到底有多重要大家都知道。

光刻機技術哪家強？

光刻機是生產大規模集成電路的核心設備，是制造和維護光學和電子工業的基礎。光刻機技術目前是世界上最尖端的技術之一，只有少量國家掌握，所以光刻機的價格是非常昂貴的，一臺高端的光刻機甚至可以賣到6億元左右（目前全球最貴的EUV光刻機單臺售價已經超過6.3億元），即便賣這么貴還供不應求，很多訂單都需要排隊生產，甚至有部分國家給再多的錢也買不到。

對于這么尖端的技術，按理來說那些芯片強國應該是光刻機的制造強國才對，但讓大家感到意外的是，目前世界上最好的光刻機不是來自美國，韓國，英國、日本等這些芯片強國，而是來自荷蘭。

目前在全球45納米以下高端光刻機市場當中，荷蘭ASML市場占有率達到80%以上，而且目前ASML是全球唯一能夠達到7納米精度光刻機的提供商，所以ASML才是全球芯片業真正的超級霸主一點都不過分。正因為得益于技術領先，目前ASML的市場份額也是很大的，目前全球知名芯片廠商包括英特爾、三星、臺積電、SK海力士、聯電、格芯、中芯國際、華虹宏力、華力微等等全球一線公司都是ASML的客戶。

比如2018年全球光刻機出貨量大概是600臺左右，其中荷蘭的ASML出貨量就達到了224臺，出貨量占全球的比例達到30%以上。

為何荷蘭能誕生全球最頂尖的光刻機廠商？

荷蘭的光刻機技術強大主要靠ASML，ASML成立于1984年，由飛利浦與先進半導體材料國際（ASML）合資成立，總部位于荷蘭的費爾德霍芬。1995年，ASML收購了菲利普持有的股份，稱為完全獨立的公司。

而ASML之所以能夠做到全球光刻機的霸主地位，我覺得主要有幾下幾個原因。

1、強大的研發投入

光刻機是一個高精尖的技術，其技術難度是全球公認的，如果沒有持續強大的研發投入根本不可能到技術領先。ASML從成立至今，對于研發的投入都非常大，比如2019年ASML的銷售額大概是21億歐元，而研發費用支出就達到了4.8億歐元，研發費用占營收的比例達到22.8%，這個比例是非常高的，正因為有大量資金的投入，所以ASML在關鍵技術領域一直處于領先地位。

從1991年PAS 5000光刻機面市取得巨大成功開始，再到2000-2001年具有雙工作臺、浸沒式光刻技術的Twinscan XT、Twinscan NXT系列研制成功，到強大的研發投入讓ASML的技術一直處于全球領先。

2、美國以及歐盟的支持

雖然ASML是一家荷蘭公司，但他背后卻有著歐盟以及美國的力量，多關鍵技術都由美國以及歐盟國家提供。比如德國先進的機械工藝以及世界級的蔡司鏡頭，再加上美國提供的光源，這就使得ASML公司在光科技術方面飛速發展，幾乎到達了無人能敵的境地。

因為背后有美國的力量，所以ASML一直以來都禁止向中國出口高端光刻機，直到2018年這一情況才有所轉機，2018年ASML同意向中國出口兩臺7納米的高端光刻機，預計2019年交貨。而ASML之所以一反常態同意向中國出口高端光刻機，一方面是因為中國在光刻機的一些關鍵技術上已經取得了突破，另一方面是中國訪問團訪問荷蘭的時候，給荷蘭帶去了巨大的訂單。

3、準確抓住了技術轉折點

目前世界最頂尖的光刻機有三個廠家，分別是ASML，尼康和佳能。2007年之前這三大廠家其實并沒有太大的差距，競爭的轉折點是出現在2007年。2007年ASML配合臺積電的技術方向，推出了193納米的光源浸沒式系統，在光學鏡頭和硅晶圓片導入液體作為介質，在原有光源與鏡頭的條件下，能顯著提升蝕刻精度，并成為高端科技的主流技術方案。而當時日本的尼康與佳能卻主推157納米光源的干式光刻，這個路線后來被市場所放棄，也成為尼康跟佳能邁入衰退的一個轉折點，后來才有了ASML的壟斷。

4、技術分工與合作

雖然ASML的研發人員占員工總數的比例達到4成左右，但是ASML很多技術都是外包，這樣可以讓ASML專注于核心技術與客戶需求，大大提高研發的效率。

5、對細分技術領域企業的控制

生產光刻機對技術的綜合要求非常高，這里面涉及很多技術領域，為了獲得全球最頂尖的技術，ASML先后投資了很多企業。比如2007年收購了美國的Bion，強化了專業光刻檢測與解決方案能力；2013年完成對紫外光源龍頭 Cymene的收購，2016年獲得光學鏡片龍頭德國蔡司24.9％的股份，這兩項投資進一步加強了ASML在極紫外光領域的領先優勢。

現在微電子集成電路技術對世界的各種科技電子產品越來越應用廣泛了，一個國家的發展越來越離不開高端芯片了，一個國家越是發展得越快對高端芯片需求量越大，比如我國的芯片需求占世界的50％以上，到現在我們的比較有名芯片設計商就是華為的麒麟了，但是依然跟國際水平還是有一定差距，在芯片制造流程中的高端光刻機更差得遠一點。

對，世界上最頂端的光刻機來自荷蘭阿斯麥的極紫外光光刻設備，差不多1.2億美元一臺，還壟斷著世界高端光刻機市場，像現在最先進制程的7納米，有的國家有錢也是買不到的。

那么為什么這種世界高科技光刻機公司不在美國，而在荷蘭呢？首先最重要的這種技術并不是美國搞不出來。

一，是荷蘭阿斯麥公司是自世界各國大公司投資的公司，其中大股東就有（美國）的英特爾公司，韓國三星，還有我國的臺積電。這樣的的好處是集資容易，風險共擔，重要的是有美國大股東控制著。

二，是荷蘭阿斯麥生產的光刻設備，一些重要部件來自世界很多國家，比如最重要的光源技術來自美國的一家公司，鏡頭來自德國等，這里又有美國公司參與控制。

三，是覺得把這種高科技公司放在荷蘭可以更好的壟斷這個產業，不使技術外流，一是荷蘭是美國的小弟不擔心；二是美國國內有反壟斷法，如果把這樣的公司放美國國內可能會被析分成至少兩家公司，這樣人才技術就會不集中，研發起來慢，也可能浪費錢，造成產能過剩，而在荷蘭就沒有這種法律，這樣就比較好控制。

四，是美國掌握著世界芯片最頂端的芯片設計技術，光刻機是為芯片服務，如果美國停止設計高端芯片，那么荷蘭的高端光刻機毫無用處，產量也是被美國控制著，不過這種優勢美國越來越掌握不住了。

總的來說世界最高端的光刻機雖然在荷蘭，但是被美國控制著。

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ASML師出名門，而且在這一行內起步較早，如此強大并不令人意外。

首先，成為光刻機領域的老大，ASML走過了很長一段時間。實力的生成經過了時間的考驗。

ASML最早是飛利浦光刻設備研發小組，而飛利浦早在1973年就推出了彼時稱為“新型”的光刻設備，不過基本成本及技術的原因，這一產品并沒有推廣成功。此后比較長的時間，ASML這個昂貴的研發小組，都在困難中支撐前行，好在有飛利浦這棵大樹好乘涼，不至于淪為破產與結束的境地。

1995年ASML成功上市，這是ASML最大的轉折點：進了資本市場就意味著有錢進行技術并購。光刻機是技術含量極高的行業，ASML通過自研與并購，掌握了一系列的技術，這為它樹立全球光刻機市場的至高地位奠定基礎。ASML對研發是相當舍得投入的，每年營收的15%左右是投在研發上，如此多的技術創新投入，其產品創新與換代自然游刃有余。

其次，ASML對于合作有獨到見解與融合模式。

在光刻機中光刻曝光技術是最為核心的，這個ASML自己牢牢把控著，而其余的采取模塊化外包，當然這種外包也包括了研發。比如光學鏡頭部件是德國廠家，光源及調量設備是美國廠家，等等。一個光刻機里，體現了全球產業鏈的協同創新。在擴展市場版圖時，與全球最優秀的公司合作，現在也是中國一些大公司的做法。

除此之外，2012年起，ASML還允許大客戶對ASML股權投資，當然這有兩個前提：一是只能進行少數股權投資；二是必須對研發支出作出承諾。像英特爾、臺積電、三星這樣的大公司就是這樣被捆綁進來的。

第三，目前，在中國大陸市場的收入占到了ASML全球業務的二成以上。

2019年ASML高端的EUV光刻機計劃出貨30臺，ASML并且表示，中國半導體行業購買EUV光刻機不受限制。此前有猜測認為，ASML高端光刻機對中國禁售。不過，ASML對此并不認同。EUV光刻機是目前最先進的半導體制造設備，當然最先進的同時也是最昂貴的。

目前，中國半導體產業在中低端芯片上已實現全面的突破，對高端芯片的追求也在行進中，在這樣的時候，EUV光刻機顯然是很被需要的。

制造芯片最好的光刻機來自荷蘭而不是美國，荷蘭是如何做到的？

集成電路玩的好的是美日韓及中國臺灣地區，而集成電路制造設備玩的最溜的國家是荷蘭。光刻機技術哪家強？荷蘭阿斯麥（ASML）準沒錯！

由于大規模集成電路制造的核心設備是光刻機，因此對芯片的工藝制成起著決定性作用。荷蘭阿斯麥公司如今是全球最大的光刻機設備及服務提供商，在這個領域是王者的存在，尤其是借力攻關EUV設備，徹底形成了全球技術壟斷地
位。從昔日的三足鼎立局面（阿斯麥、尼康、佳能、）到如今的絕對王者地位，阿斯麥用了三十來年的時間，就在這個尖端技術領域建立了極高的技術壁壘。

早期發展并不順利

面臨著市場飽和及資金不足的雙重壓力。在市場方面主要兩大攔路虎是佳能與尼康，這兩家的市場份額占比相當高。資金方面主要是發展環境趨向惡化，產品技術趨向過時，從而導致資金鏈的斷缺。既然在市場夾縫中要死不活的生活著，還不如想法子突圍。于是阿斯麥公司首先向政府求助及合作研發，因此拓展了外延的研發網絡。其做出一個英明的決策就是推出雙贏機制，與供應商建立利益分享機制，與研究機構及科研院校建立互惠合作機制，從而挽救了阿斯麥在市場夾縫和生存逆境的茍活狀況，成為阿斯麥走向王者寶座的重大轉折點之一。

敢為人先，打破保守策約！

尼康和佳能這些日系廠商的決策比較保守，因此研發的157nm光刻機的效果不是很理想，這給阿斯麥即帶來機遇又帶來了挑戰。

上面說到日系佳能與尼康，還有個很牛的公司就是臺積電。臺積電工程師提出以水為介質制造浸潤式光刻機，這個在當時的光刻機制造領域是屬于顛覆性技術，但日系廠商保持觀望態度，而沒有對這種顛覆性制造光刻機技術的深入探索。可是阿斯麥卻敢為人先，決心深入研究，與臺積電聯合攻關歷經三年時間，首臺具有顛覆性意義的浸潤式光刻機Twinscan TX成功問世，使得半導體幾十年的發展宏圖因浸潤式技術而改寫。阿斯麥因此由于浸潤式微影設備的研發與問世，從此其市場的主導地位越來越高，市場占有率也一路飆升到之前佳能與尼康市場占有率的總和。由此可知，浸潤式微影光刻機設備的問世，使阿斯麥成走向巔峰之路的又一重大轉折。

真正做到在這一領域全球壟斷地位，還是由于EUV設備的攻關成功，使的阿斯麥占領這一領域的制高點。因為極紫外光光刻機設備EUV能將芯片制程推進到10nm以下，所以是芯片制程突破10nm的核心設備。

前面說道日系中的佳能與尼康，對于浸潤式光刻機技術這樣具有顛覆性意義的路徑保持觀望態度，后面又因為極紫外光技術難度大，資金投入大，又幾近放棄。但阿斯麥依然堅持研發投入，而且對外尋找研發支持。極紫外光設備研發成功，成為目前世界上在精度、生產效率最高的光刻機設備，也使得阿斯麥成為全世界唯一擁有EUV尖端技術的廠商。

雖然現在世界上最好的光刻機設備不是美日韓等芯片制造強國，而是荷蘭的阿斯麥，背后也有歐盟及美國的大力支持。阿斯麥發展核心技術的戰略非常明確，戰略目標非常清晰，關鍵技術攻關的專注度非常高，而且穩定的利益共同體的構建和開放研究網絡合理共享成果等，都為阿斯麥發展核心技術奠定了重要的基礎。

這個問題很有趣，實際上網上有很多報道，荷蘭的ASML前身是飛利浦的光刻機研發部門，飛利浦是荷蘭企業，所以，ASML就設在荷蘭。

ASML獨立之后，它的主要對手，是美國、日本的企業，尤其是日本尼康很厲害（另外，德國、中國都有企業生產光刻機，德國、韓國企業也有企業不生產但掌握大量相關專利，例如德國蔡司、韓國海力士）。在競爭過程中，尼康犯了一個錯誤，就是什么都自己搞（貌似日本企業的通病，喜歡搞大而全。），結果搞出的東西不成熟。ASML則不同，它走的是整合路線，它買美國的光源、德國的鏡頭，可以說，90%的部件來自外購，光刻機性能很快就后來居上了。

那么，為什么ASML能買到所需要的部件呢？這跟一個規定有關，那就是優先為股東提供設備，所以，世界上著名半導體企業，幾乎都成為ASML的股東，都會給它技術支持，著名股東如英特爾、三星、臺積電等，當然，中國大陸企業除外。

此外，這家公司的股東還包括一些大的財團，尤其是美國的摩根、德國的德銀等等，總體而言，這家企業的主要控股者，還是美國、荷蘭、德國的企業或財團，所以，其實是歐美共同扶持造就了這家企業。

既然技術上可以卡脖子，股份上可以影響其決策，美國根本不怕ASML敢動什么小心思，據說，美國曾經給ASML施壓，要這家公司不得雇傭中國人，這家公司最后也沒辦法，只能照辦。此外，美國在荷蘭有駐軍，對荷蘭的影響力很大，前幾天，荷蘭還發表了一個文件，要不輕信中國云云，

中國光刻機現在是90納米制程，這個光刻機指的是投影式的，可以大規模生產芯片的光刻機，而非近來宣傳很火的那幾款直寫式光刻機，不過，中國已經研發出32納米的EUV曝光系統，以及65納米的雙工臺，可以預見，未來幾年，中國可以量產65納米，甚至32納米的光刻機。

光刻機是什么？

光刻機是生產大規模集成電路的核心設備，可以說沒有光刻機就無法生產出芯片。不過光刻機的制造和維護需要高度的光學和電子工業基礎，因此世界上只有少數廠家掌握。這也使得光刻機的價格昂貴，根據性能的高低，通常價格在3千萬至5億美元之間。目前世界上主要的光刻機企業有荷蘭的ASML，日本的尼康、佳能，其中技術實力最為強悍的為荷蘭的ASML公司。

ASML公司

ASML成立于1984年，它的前身為飛利浦公司，ASML是由飛利浦與ASMI合資成立，所以其總部位于荷蘭。ASML唯一產品類型就是集成電路制造環節中最核心的設備——光刻機。其在光刻機領域的地位是什么呢？比高通在芯片領域的地位還高，從2011-2017年，其全球出貨比重都基本在60%以上，這就是為什么2018年ASML公司廠區發生火災會引起全世界的關注。

為什么不是誕生在美國？

ASML雖然不是在美國，但是其背后卻有著美國的背影，也是因為這個原因，在2018年之前ASML從不向大陸出口高端的光刻機，2018年的時候ASML正式澄清要進口到中國大論沒問題，據傳大陸定了2臺，2019交付（一臺7200萬美元，一臺1.2億美元）。之所以愿意出口這一方面是我們現在有上海微電子裝備這家光刻機企業在努力，也取得一定的技術進步，另一方面是大陸的市場原因。

ASML雖然說是荷蘭企業，但是其背后的大股東確是（美國）的英特爾公司、韓國三星、我國臺灣的臺積電、美國摩根集團、德國的德銀等，所以更嚴格的來說它是歐美及其小弟的聯合體。

也正是這樣，ASML才能走到第一，因為光刻機是重資金重技術的企業，單靠一家企業純研發是很有難度的，舉個最簡單的例子，在2007年之前，ASML與尼康和佳能不相上下，甚至尼康還一度占有優勢。隨著ASML引入的眾多股東，吸收及整合了更多的關鍵技術如美國的光源技術，德國的鏡頭技術等等（如果不是背后的眾多股東搭橋牽線，要想整合全部技術，根本不可能），當然這也與ASML的政策有關，產品優先供應股東，所以三星、臺積電這些半導體企業才會紛紛入股并密切配合，比如最先進的7納米光刻機就是臺積電配合下生產出來的。相反的日本的尼康就是什么都自己搞（這貌似日本企業的通病，喜歡搞大而全），最終被反超。

因此ASML雖然不在美國，但其實它的背后就是美國人在控制著，而且不把該企業放在美國還有一大好處，就是避免了美國有反壟斷法，這家企業放在美國，肯定違背反壟斷法，必須拆分為2家，一則增加了技術外流的可能，再者人才和資金的分散可能會導致研發速度下降，甚至惡意競爭，導致被其他企業反超。此外美國在荷蘭有駐軍，對荷蘭的影響力很大，根本不怕ASML不聽話。

上述或許就是光刻機最先進的企業沒在美國而在荷蘭的原因。

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①出身問題

ASML當初是飛利浦的，飛利浦本身是荷蘭的，所以它在荷蘭也是正常的事情。當初飛利浦的經營遇到困難了，光刻設備研發小組足夠的經費都不能保證，后來就獨立出去了。獨立出去之后跟ASMI合并，成為了ASML。

人家本來是荷蘭的企業，當然留在荷蘭，沒有必要亂跑。

②資金問題

ASML當初獨立出去了還是不夠錢，然后找荷蘭政府投資。荷蘭政府雖然給了不多，但是好歹支持了，還給了政策扶持。你拿了別人的投資就像亂跑？荷蘭讓你亂跑？而且這中高端設備環境污染不大，但是需要大量高端人才，是相當優質的企業，不會讓你亂跑。

同樣也是資金問題，讓歐美沒有辦法再弄一個ASML出來。英特爾、臺積電、三星等彼此競爭的三大巨頭，聯合給了ASML41億、8.38億、5.03億歐元，他們以23%的股權共籌得53億歐元資金。然后ASML還弄了很多資源共享和技術共享，才降低了很多成本。

EUV這個技術本來是要來源于美國的“星戰計劃”。波長僅有十三nm的EUV，難度太高，研發成本成本太高，比計劃推遲了好幾年都無法上市使用。日本的Nikon和佳能，都已放棄開發。ASML已經是全村人的希望了！

你要其他國家再弄一個出來，代價太高了。此前英特爾也扶持過尼康，但是就是做不出來。

而且，高端的光刻機競爭過于激烈，就會虧本了......需要合理控制數量

③全球化問題

ASML發展剛好是全球化的體現。因為它很多的零部件都是從海外買過來的，最重要的光刻設備是委托德國的蔡司做的。

歐美巨頭都投資了ASML，所以他們也不擔心這個問題，投資就行了。沒有必要把好幾年的利潤投進去冒風險做自己不熟悉的事情。

同樣，光刻機只不過是半導體的一部分，美國沒有必要全部都自己做。而且自己還掌握了不少ASML的股份。

這個簡單的問題，高精度光刻機技術使研發應用電子設備控制電路體積更加細小、高效、節能、成本更加降低，在民用、國防均有重大作用，總不能將一個機房體積大小的控制電路裝到手機或導彈上吧，所以電子產品電路集成越來越小的芯片，是未來社會發展必需。集成電路芯片晶圓基片上通過光刻機將大量數百億個晶體管、電阻器、電容器、二級管等電子元件刻在芯片上，并不是為了好看，而是真的有科技技術含量。我們中國目前國內設備最高精度可以28、14nm納米，荷蘭公司生產的光刻機目前是7nm納米并且在研發5nm納米的技術。我們是研發了光蝕機后，美國才解禁荷蘭公司向中國大陸的售賣。臺積電為什么可以購買大量何蘭生產的7nm納米光刻機，因為臺積電是臺灣企業，不是中國大陸企業，本身就有美國支持，可以無限制購買。

再說說為什么產地是荷蘭而不是美國本土，因為荷蘭屬于美國領導下的北約成員國，是美國的小弟，也就沒有必要搬回美國生產。如果荷蘭是蘇聯領導下的華約成員國，相信美國會直接打垮荷蘭，并將高精度光刻機技術資料及工程師搶運到美國本土研發和生產。并且芯片光刻機并不涉及集成電路芯片設計用途，美國限制荷蘭芯片光刻機銷售中國目的只是美國限制中國大陸發展必須落后于美國的戰略意圖，從而使中國的發展必須依賴美國，而不是要把中國大陸搞得像美國敵對蘇聯一樣，所以技術一但突破，立即就解禁。

芯片對于現代社會的重要性已經不言而喻了。他是整個精密儀器的心臟和大腦，沒有它這架儀器就運轉不了。在制造芯片的過程中，有一種機器是不可或缺的，就是大名鼎鼎的光刻機。（光刻的工作原理）

光刻，就是一半導體晶片表面的掩蔽物（如二氧化硅）進行開孔，以便進行雜質的定義，擴散的一種加工技術。原理很簡單，但是技術很復雜。距今為止，全球沒有多少個國家掌握了光科技術。

其中技術最牛的，屬于荷蘭ASML公司。另外日本的佳能和尼康，光刻機技術也相當成熟，但是和ASML也比起來還是稍遜一籌。ASML公司占有全球80%左右的市場份額，年營收超過百億歐元，它的客戶包括英特爾、三星、臺積電、海力士、中心國際。

一臺高端光刻機售價可達1.2億美元，比一架F35戰斗機的價格還高。F35戰機目前價格已經跌破9000萬美元。

荷蘭并不是科技非常發達的國家，至少和美國，日本德國比起來還是有差距的。你們在光科技領域，荷蘭能夠領全球風騷呢？反倒是硅谷沒有這方面的巨頭？

其實雖然ASML公司創立于荷蘭，但是它重要的技術來源，確實來自于美國。2007年，ASML公司收購美國睿初科技。睿初科技是一家美國硅谷的高科技公司，在光刻方面有很多專利，在同行業中處于領跑地位。

2013年ASML又完成對美國Cymer公司的收購。也是一家在光刻領域非常牛逼的公司，1986年就進入了半導體產業。為了收購這家公司，ASML也花了將近20億歐元。

所以說雖然asml公司是荷蘭的，但背后技術提供者卻是美國。

似應該這樣說：其實，是最好光刻機的“整機”來自荷蘭，荷蘭這個小國算得上光刻機制造“大國”，卻算不上強國，只能算得上光刻機整機集成強國，ASML的技術在世界上最好的光刻機中僅占10%嘛，重要的是主要的關鍵技術/零部件都來自外國；美國不僅是芯片的“大國”，而且是強國，并且是最強國，包括最好光刻機的最關鍵技術/零部件就來自美國。

荷蘭做到造出最好的光刻機顯然并不主要依靠自己。ASML在整機集成上顯然具有最好的優勢，得益于自己開展的自主研發和荷蘭國的大力支持，這樣的優勢、研發、支持是其他國家沒有具備、沒有進行、沒有給予的，做到了這些之后，荷蘭才被其他國家視為當時最為合適、未來最有前途的光刻機整機集成國家。但，主要依靠的是多個國家，特別是美國，連最重要的光刻機制造新技術路線或者叫另辟蹊徑的機會也是主要由美國“賜予”的，這緣于更讓美國及其他國家信任，荷蘭也的確用行動證明了自己的可信任，何況向來就跟美國及其他國家關系親近、親密，關鍵是過往沒有成為芯片大國，現實則表明未來難以成為，美國“認為”不會威脅到自己的芯片強國地位，所以包括美國在內的其他國家才甘愿作為部件供應國，還成為了投資國呢，從而使得ASML后來居上，擊敗了由于先發而造出當時最好光刻機的日本尼康?？梢哉f尼康絕非主要因為自己而落后于ASML，而是因為自己國家的芯片業被美國及其他國家放棄支持或者叫擔心再度強大起來。

最重要的是關于光刻機制造的“布局”。美國芯片業的綜合實力、整體能力是包括荷蘭在內的其他國家都比不上的，而在光刻機制造上，荷蘭及其他國家不過在某一個方面才是強的，所掌握的關鍵技術倒是彼此不同，把美國的那個方面加進來，涵蓋了光刻機整機所包含的全部關鍵技術。這是一種事實上的“主導+分工+合作”的格局，歷史悠久，基于由各個相關國組成的光刻機制造國家聯盟早早做出的布局，布局則基于合力發展出最好光刻機的共同意愿，最好的光刻機便集成了各自所具有的某一方面技術能力，主要是基于哪個國的意愿？肯定是美國，本就是其他國家的長期老大，何況美國那個方面的光刻機技術能力最為關鍵。正是由于美國為“芯片最強國+光刻機部件最關鍵技術擁有國”，美國才成為了國家聯盟中的主導國，荷蘭才在光刻機上受控于美國。當然，這個布局一開始是“自然”形成的，是各個相關國家自我自發努力的結果，后來變成了“人為”的，即美國牽頭“優化”了自然形成的布局，包括扶植了荷蘭、淘汰了日本，還對中國斷供了零部件，致上海微電子研制的90納米光刻機停留在樣機狀態，依靠我們國內部件“供應商”長達 9 年的自行研制才得以量產，倒是從此擺脫了依賴于人的局面。